[實用新型]一種液晶玻璃基板測厚裝置

有效

• 申請號: 201020105326.8
• 申請日: 2010-02-02
• 公開（公告）號: CN201731872U
• 公開（公告）日: 2011-02-02
• 發明（設計）人: 李赫然;周波
• 申請（專利權）人: 河北東旭投資集團有限公司
• 主分類號: G01B21/08
• 分類號: G01B21/08;G02F1/13
• 代理公司: 石家莊新世紀專利商標事務所有限公司 13100
• 代理人: 張杰

技術領域

本實用新型屬于液晶玻璃制造領域，更具體地說涉及一種液晶玻璃生產線上在線式液晶玻璃基板測厚裝置。?

背景技術

應用于液晶玻璃基板的在線式測厚裝置要求能夠測量厚度為0.3mm至1mm的玻璃基板，精度達到±1μm。同時，要求測厚裝置不僅能夠消除玻璃擺動對測量精度造成的影響，且能夠在一定程度上消除玻璃形變對測量精度造成的影響。?

而目前市場上用于透明物體非接觸式厚度測量的技術主要有以下幾種：?

1.超聲波測厚法，該方法使用超聲波測量，精度為毫米級。?

2.激光三角法，最高精度可以達到±0.4μm。但在這個精度要求下，量程太小(±1mm)。使用這個技術作在線式測量，很難抵消玻璃擺動、翹曲、震動、機械結構誤差等方面的影響。實際應用中，很難實現±0.4μm的精度。?

3.干涉法，該方法利用光波干涉原理測量，精度可以達到納米級。但該方法的量程很小，不能滿足玻璃測厚的要求。?

綜上，現有技術適用于液晶玻璃生產線上的玻璃測厚的僅有激光三角法，其精度一般為千分之一至萬分之三。但這個精度需要將玻璃放置于大理石平臺等平面度很高且很穩定的平臺之上才能實現，并且要求玻璃沒有翹曲等形變。如應用于玻璃垂直吊裝、沒有平臺等在線式測量的情況時，該方法無法實現高精度測量。如玻璃有翹曲、擺動等影響時，精度會更差。?

實用新型內容

本實用新型的目的就在于提供一種液晶玻璃基板測厚裝置，其不僅能夠消除玻璃擺動對測量精度造成的影響，且能夠在一定程度上消除玻璃形變對測量精度造成的影響。?

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：本實用新型由玻璃基板夾持單元和設置在玻璃基板夾持單元一側的直線運動測試單元構成；玻璃基板夾持單元包括：機架，安裝于機架上的位置調節機構，在位置調節機構上裝配有氣動部件，氣動部件具備一個氣壓調節裝置，氣動部件上裝配有由氣動部件驅動的夾持臂，夾持臂上設有軟材質的夾持條；直線運動測試單元包括：由導軌滑塊副、同步帶構成的直線運動單元，裝配在直線運動單元上的可以前后調節位置的滑臺，裝配在滑臺上的測厚傳感器。?

本實用新型所述氣動部件為氣爪，其氣壓調節裝置按壓縮空氣路經氣路依次包括：閥門、過濾器減壓閥、換向閥、節流閥、氣爪；換向閥為可以控制壓縮空氣方向，進而控制氣爪開閉的電磁閥。?

本實用新型的有益效果為：本實用新型該裝置具備一種玻璃夾持機構該玻璃夾持機構能夠在測厚的時候夾緊玻璃，不僅可以固定玻璃位置，消除玻璃擺動對測厚精度的影響；同時，夾緊機構對玻璃施加適當的夾持力，也可以消除一部分玻璃形變對測厚精度的影響。測厚傳感器由一個直線運動單元驅動作直線運動。測厚傳感器在直線運動的同時實時測量玻璃厚度，運動成后可以得到玻璃一個方向上的一組厚度數據。這些數據經過擬合后可以得到玻璃的厚度曲線。本實用新型使用氣動元件，如氣爪等運動部件，驅動兩個夾持臂。在玻璃未進入測厚裝置時，氣動部件打開夾持臂。當玻璃進入測厚裝置時，氣動部件驅動夾持臂動作，夾緊玻璃。夾緊玻璃后即可以固定玻璃的位置，消除玻璃擺動對測厚精度的影響；同時，夾緊機構也可以將有形變的玻璃夾平，消除玻璃形變對測厚精度的影響。本實用新型所述氣動部件具備一個氣壓調節裝置，可以調節供氣壓力以使夾緊力合適。合適的標準是：盡量使夾持臂夾緊玻璃時使得有形變的玻璃平直，但又不至于破壞玻璃。氣動元件同時也具備一個位置調節裝置，調節的標準是：當夾緊臂夾緊玻璃時，使得玻璃距測厚傳感器的距離處于傳感器的最佳測量區。總之本實用新型結構合理其不僅能夠消除玻璃擺動對測量精度造成的影響，且能夠在一定程度上消除玻璃形變對測量精度造成的影響。?

附圖說明

圖1是本實用新型提供的測厚裝置結?構圖。?

圖2是本實用新型提供的夾持機構壓力調節氣路圖。?

圖3是本實用新型所述直線運動單元示意圖。?

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步說明。?