[實用新型]平面光波導分路器芯片

有效

• 申請號: 201020102109.3
• 申請日: 2010-01-27
• 公開（公告）號: CN201607539U
• 公開（公告）日: 2010-10-13
• 發明（設計）人: 荊亞新;陳衛明
• 申請（專利權）人: 蘇州新海宜通信科技股份有限公司
• 主分類號: G02B6/125
• 分類號: G02B6/125
• 代理公司: 南京眾聯專利代理有限公司 32206
• 代理人: 趙楓

技術領域：

本實用新型涉及一種平面光波導分路器芯片，屬于光無源器件領域。

背景技術：

隨著光纖通信技術的發展，光纖到戶(FTTH)得到了較大規模的商用并呈現出良好的發展勢頭，其顯著特點是其采用無源光網絡鏈路，提供更大的帶寬，節省線路資源，增強線路的可靠性，同時對環境和供電要求降低。

在FTTH網絡中，光分路器是其中的核心器件，特別適用于無源光網絡(EPON、BPON、GPON等)中連接局端和終端設備，實現光功率的分配。

目前，光分路器的制作工藝已經基本從熔融拉錐式制作轉變為采用集成光學技術生產，而平面光波導是集成光學中的基本部件，該技術是采用光蝕刻技術在二氧化硅基片上制作，光功率的分配集成于一片芯片上，一片芯片能實現1分32路以上的功率分配。

平面光波導分路器就是采用平面光波導芯片技術，將平面光波導芯片與光纖陣列對準耦合，并用粘結劑粘接而成的產品。該產品擁有優良的均勻分光特性，集成度高，以及工作波長范圍寬等特點，全面滿足FTTH的使用要求，且支持以后的通信擴容，如圖2所示。

但該產品目前存在的問題是制作工藝復雜，對準耦合設備價格昂貴，產品產能不高，從而導致生產成本較高

發明內容：

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種平面光波導分路器芯片。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種平面光波導分路器芯片，包括：基片、沉積于基片上的波導芯層、沉積于波導芯層上的上包層以及蝕刻于波導芯層內的光路，所述光路的輸入、輸出端設置有與裸纖匹配的輸入定位槽和輸出定位槽。

本實用新型解決平面光波導型分路器生產中的設備昂貴、工藝復雜、產能不高等問題，在平面光波導芯片的輸入輸出光路上蝕刻與裸光纖匹配的定位槽，在光分路器的生產中，將光纖直接接入平面光波導芯片，并用紫外固化膠粘結并固化，最后用金屬包裝固定，從而完成整個光分路器的制作。

附圖說明：

下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。

圖1本實用新型的平面光波導的層次示意圖。

圖2現有平面光波導的光路示意圖。

圖3本實用新型的光波導示意圖。

圖4本實用新型及分路器的生產流程圖。

圖中：1、基板；2、波導芯層；3、上包層；4、圖紋；5、光路；6、輸入定位槽；7、輸出定位槽。

具體實施方式：

結合圖1、3所示的一種平面光波導分路器芯片，包括：基片1、沉積于基片1上的波導芯層2、沉積于波導芯層2上的上包層3以及蝕刻于波導芯層2內的光路5，其特征是：所述光路5的輸入、輸出端設置有與裸纖匹配的輸入定位槽6和輸出定位槽7。

如圖4所示的一種平面光波導分路器芯片的制作方法，其操作步驟如下：a、將一基板拋光表面；b、在所述基板上沉積一波導芯層；c、將圖紋蝕刻在所述波導芯層內，然后對準所述波導芯層照射偏振光，使其形成光路，而在形成光路的同時，在所述光路的輸入、輸出端嵌入與裸纖匹配的輸入定位槽和輸出定位槽；d、在波導芯層上再沉積上包層，并將其固化。

通過在光路中設置輸入定位槽6和輸出定位槽7后，使得再制作平面光波導分路器時更加方便和便捷，在制作平面光波導分路器時，只需在輸入定位槽6插入并耦合一單芯裸纖，在輸出定位槽7插入并耦合一帶狀光纖，耦合后采用紫外膠將其粘結并固化，最后用金屬包裝固定，然后進行測試。

以上僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上的限制，凡是依據本實用新型的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實用新型技術方案的范圍內。