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[實用新型]可控氣氛或真空下氧化和熱處理的模擬試驗裝置無效

專利信息
申請號: 201020101665.9 申請日: 2010-01-26
公開(公告)號: CN201607355U 公開(公告)日: 2010-10-13
發明(設計)人: 錢余海;齊慧濱;周慶軍;王煒 申請(專利權)人: 寶山鋼鐵股份有限公司
主分類號: G01N1/28 分類號: G01N1/28;G01N1/44;C21D1/773
代理公司: 上海開祺知識產權代理有限公司 31114 代理人: 竺明
地址: 201900 *** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 可控 氣氛 真空 氧化 熱處理 模擬 試驗裝置
【權利要求書】:

1.可控氣氛或真空環境下氧化和熱處理的模擬試驗裝置,其特征是,包括,

反應室和混氣系統,包括石英管、通過連接管道與石英管連接、形成工作氣氛的氣體混合裝置,以及連接氣體混合裝置的若干進氣管路;石英管內置有進氣導管;連接管道上設有真空計;

真空系統,包括,

真空室,真空室上設有真空計、電離規、熱偶規;真空室輸出端口通過管道及控制閥接石英管;

渦輪分子泵,通過管道及控制閥連接真空室;

機械泵,通過管道連接渦輪分子泵,管道上設有電磁閥、分子泵真空計;機械泵還通過一路輸出管道及控制閥連接真空室輸出管路;

加熱及控溫系統,包括可移動式高溫管電阻爐,設置于石英管處。

2.如權利要求1所述的可控氣氛或真空環境下氧化和熱處理的模擬試驗裝置,其特征是,還設有供可移動式高溫管電阻爐移動的滑軌,以及用于石英管進出電阻爐時的隔熱擋板。

3.如權利要求1所述的可控氣氛或真空環境下氧化和熱處理的模擬試驗裝置,其特征是,所述的連接渦輪分子泵與真空室的管道上的控制閥為插板閥;

4.如權利要求1所述的可控氣氛或真空環境下氧化和熱處理的模擬試驗裝置,其特征是,所述的機械泵一輸出管道上的控制閥為角閥。

5.如權利要求1所述的可控氣氛或真空環境下氧化和熱處理的模擬試驗裝置,其特征是,所述的真空室連接石英管的管道上的控制閥為角閥。

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