[發(fā)明專(zhuān)利]具有振蕩質(zhì)量塊的微機(jī)電裝置和控制該裝置的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010625212.0
• 申請(qǐng)日: 2010-12-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102153043A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-08-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: A·M·羅佐皮亞托羅恩科羅尼;C·卡米納達(dá);L·普蘭迪
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 意法半導(dǎo)體股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B81B3/00
• 分類(lèi)號(hào): B81B3/00;G01C19/56
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 王茂華

1.一種微機(jī)電裝置，包括：

主體(2a；106)；

運(yùn)動(dòng)質(zhì)量塊(2b；107)，彈性地連接到該主體(6；106)并可按照一自由度相對(duì)于該主體(6；106)可振蕩地運(yùn)動(dòng)；

驅(qū)動(dòng)裝置(6；120、121、125、126、127)，其耦合到該運(yùn)動(dòng)質(zhì)量塊(2b；107)從而形成微機(jī)電環(huán)(5；119)并被構(gòu)造為在常規(guī)工作模式下保持運(yùn)動(dòng)質(zhì)量塊(2b；107)以穩(wěn)定的工作頻率(ω_D)振蕩；

其特征在于啟動(dòng)裝置(7、8、10；123、130、131)，所述啟動(dòng)裝置(7、8、10；123、130、131)可在啟動(dòng)工作模式下被激活并且被構(gòu)造為將與運(yùn)動(dòng)質(zhì)量塊(2b；107)的振蕩關(guān)聯(lián)的第一信號(hào)(CK_A；CK_N)的當(dāng)前振蕩頻率(ω_A)與參考頻率(ω_R)比較，并基于當(dāng)前振蕩頻率(ω_A)和參考頻率(ω_R)之間的比較判定是否向運(yùn)動(dòng)質(zhì)量塊(2b；107)提供加力信號(hào)包(V_F)，從而將能量傳遞到運(yùn)動(dòng)質(zhì)量塊(2b；107)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中啟動(dòng)裝置(7、8、10；123、130、131)被構(gòu)造為當(dāng)當(dāng)前振蕩頻率(ω_A)在包括參考頻率(ω_R)的可接受間隔(I)之外時(shí)，向運(yùn)動(dòng)質(zhì)量塊(2b；107)提供一個(gè)加力信號(hào)包(V_F)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其中：

驅(qū)動(dòng)裝置(6；120，121，125，126，127)被構(gòu)造為提供具有當(dāng)前振蕩頻率(ω_A)的第一信號(hào)(CK_A；CK_N)；

啟動(dòng)裝置(7、8、10；123、130、131)包括啟動(dòng)級(jí)(8；130)和構(gòu)造為提供具有參考頻率(ω_R)的第二信號(hào)(CK_R)的振蕩器(7；123)；

并且啟動(dòng)級(jí)(8；130)耦合到驅(qū)動(dòng)裝置(6；120、121、125、126、127)和振蕩器(7；123)，用于分別接收第一信號(hào)(CK_A；CK_N)和第二信號(hào)(CK_R)并且被構(gòu)造為比較當(dāng)前振蕩頻率(ω_A)和參考頻率(ω_R)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其中啟動(dòng)裝置(7、8、10；123、130、131)包括加力級(jí)(10；131)，用于響應(yīng)于來(lái)自啟動(dòng)級(jí)(8；130)的啟動(dòng)信號(hào)(S_ST)向運(yùn)動(dòng)質(zhì)量塊(2b；107)提供加力信號(hào)包(V_F)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其中啟動(dòng)級(jí)(8；130)被構(gòu)造為在當(dāng)前振蕩頻率(ω_A)在包含參考頻率(ω_R)的可接受間隔(I)之外時(shí)提供啟動(dòng)信號(hào)(S_ST)。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其中啟動(dòng)級(jí)(130)包括：

第一計(jì)數(shù)器(140)，其耦合到驅(qū)動(dòng)裝置(120、121、125、126、127)，用于接收第一信號(hào)(CK_N)；

第二計(jì)數(shù)器(141)，其耦合到振蕩器(123)，用于接收第二信號(hào)(CK_R)；

使能裝置(143、144)，其被構(gòu)造為在存儲(chǔ)于第一計(jì)數(shù)器(140)中的計(jì)數(shù)值(C₁)小于控制值(C₁*)時(shí)使能第二計(jì)數(shù)器(141)并在達(dá)到控制值(C₁*)時(shí)具有禁用值；和

計(jì)數(shù)比較器(145)，其被構(gòu)造為在第一計(jì)數(shù)器(140)達(dá)到控制值(C₁*)時(shí)從第一計(jì)數(shù)器(140)中取得控制值(C₁*)和從第二計(jì)數(shù)器(141)中取得最終計(jì)數(shù)值(C₂*)，并比較控制值(C₁*)和最終計(jì)數(shù)值(C₂*)。