[發明專利]曝光燈組與曝光機

有效

• 申請號: 201010623276.7
• 申請日: 2010-12-27
• 公開（公告）號: CN102096298A
• 公開（公告）日: 2011-06-15
• 發明（設計）人: 黃彥杰;周上杰;許詠政
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: G03B27/54
• 分類號: G03B27/54;G02B5/20;G03F7/20
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮;祁建國

技術領域

本發明是有關于一種曝光機，且特別是有關于一種曝光燈組。

背景技術

現有的紫外線曝光燈組，大體上是由燈管、內水套、外水套與圓管狀的紅外線截止濾光器(Infrared?cut-off?filter；IR?filter)所組成。在使用時，燈管所發出的光線會通過紅外線截止濾光器，紅外線截止濾光器會反射或吸收光線中紅外線波段的部份，避免紅外線波段的光線影響后續進程，例如：造成不必要的溫度上升。

由于紅外線截止濾光器會反射或吸收光線中紅外線波段的部份，因此紅外線截止濾光器在使用時的溫度會顯著地增加。特別是對于高功率燈管而言，這種溫度增加更是明顯。為了避免溫度過高影響紫外線曝光燈組的壽命，一般使用者會在內水套與外水套之間通冷卻水，以水冷的方式冷卻紅外線截止濾光器。

然而，對高功率燈管而言，雖然使用者已經用水冷的方式來冷卻，但很多時候仍然無法將紅外線截止濾光器的溫度降低至理想的溫度。因此，相關產業的人員莫不殷切期盼一種能夠增進冷卻效果的創新設計。

發明內容

本發明的一目的是提供一種曝光燈組，其藉由增加管狀濾光器的周壁表面的面積，來提供足夠的熱交換面積，以利冷卻系統快速地帶走管狀濾光器的熱量。

根據本發明一實施方式，一種曝光燈組包含管狀光源、內水套、外水套與管狀濾光器。內水套套設于管狀光源外。外水套套設于內水套外，使得內水套與外水套之間形成空間。管狀濾光器套設于內水套與外水套之間，此管狀濾光器的周壁表面的面積，大于管狀濾光器的外徑圓周與長度的乘積。

本發明的另一另一目的是提供一種曝光機。

根據本發明另一實施方式，一種曝光機包含基座與曝光燈組。曝光燈組位于基座上方。曝光燈組包含管狀光源、內水套、外水套與管狀濾光器。內水套套設于管狀光源外。外水套套設于內水套外，使得內水套與外水套之間形成空間。管狀濾光器套設于內水套與外水套之間所形成的空間中，且此管狀濾光器的周壁具有至少一內角緣與至少一外角緣。

本發明的有益效果在于：管狀濾光器的周壁表面能夠提供足夠的熱交換面積，冷卻系統將能更快速地帶走管狀濾光器的熱量。

以下結合附圖和具體實施例對本發明進行詳細描述，但不作為對本發明的限定。

附圖說明

圖1為依照本發明一實施方式的曝光燈組的主視圖；

圖2為圖1的局部2的剖面圖；

圖3為圖2的管狀濾光器的局部立體圖；

圖4為圖2的管狀濾光器的側視圖；

圖5為依照本發明另一實施方式的管狀濾光器的側視圖；

圖6為依照本發明再一實施方式的管狀濾光器的側視圖；

圖7為依照本發明又一實施方式的管狀濾光器的側視圖；

圖8為依照本發明再一實施方式的管狀濾光器的側視圖；

圖9為依照本發明一實施方式的曝光機的主視圖。

其中，附圖標記

2：局部

100：曝光燈組

110：管狀光源

120：內水套

125：空間

130：外水套

140：管狀濾光器

142：周壁

144：濾光片

146：黏膠

200：曝光機

210：基座

220：紫外線通過濾光片

230：反射器

OD：外徑

OC：外角緣

IC：內角緣

具體實施方式

以下將以圖式揭露本發明的多個實施方式，為明確說明起見，許多實務上的細節將在以下敘述中一并說明。然而，應了解到，這些實務上的細節不應用以限制本發明。也就是說，在本發明部分實施方式中，這些實務上的細節是非必要的。此外，為簡化圖式起見，一些公知慣用的結構與組件在圖式中將以簡單示意的方式繪示。

圖1為依照本發明一實施方式的曝光燈組100的正視圖。圖2為圖1的局部2的剖面圖。如圖所示，一種曝光燈組100包含管狀光源110、內水套120、外水套130與管狀濾光器140。內水套120套設于管狀光源110外。外水套130套設于內水套120外，使得內水套120與外水套130之間形成空間125。管狀濾光器140套設于內水套120與外水套130之間所形成的空間125中。

圖3為圖2的管狀濾光器140的局部立體圖。圖4為圖2的管狀濾光器140的側視圖。在本實施方式中，管狀濾光器140的周壁142表面的面積，大于管狀濾光器140的外徑圓周與長度的乘積。在此所述的管狀濾光器140的外徑圓周是指管狀濾光器140的兩倍半徑OD乘以圓周率。