[發(fā)明專利]制絨系統(tǒng)及制絨方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010623115.8
• 申請(qǐng)日: 2010-12-23
• 公開（公告）號(hào): CN102569499A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬曉光;何悅;葉俊;黃治國
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無錫尚德太陽能電力有限公司;尚德太陽能電力有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18;C30B33/10
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 李湘;高為

1.一種制絨系統(tǒng)，用于在單晶硅片表面形成絨面，其特征在于，包括：

制絨槽，其用于盛放制絨液并使所述單晶硅片在所述制絨液中反應(yīng)；

離線濃度檢測(cè)裝置，其用于離線檢測(cè)所述制絨液中各組分的濃度值；以及

補(bǔ)充裝置，其用于根據(jù)所述濃度檢測(cè)裝置所檢測(cè)的濃度值向所述制絨槽中補(bǔ)充對(duì)應(yīng)的組分以使所述制絨液各組分的濃度值保持在預(yù)定的濃度范圍內(nèi)。

2.如權(quán)利要求1所述的制絨系統(tǒng)，其特征在于，所述制絨液的主要組分包括NaOH、Na₂SiO₃和異丙醇。

3.如權(quán)利要求2所述的制絨系統(tǒng)，其特征在于，濃度檢測(cè)裝置包括酸堿滴定儀和折射儀，所述酸堿滴定儀用于檢測(cè)NaOH和Na₂SiO₃的濃度，所述折射儀用于檢測(cè)異丙醇的濃度。

4.如權(quán)利要求2所述的制絨系統(tǒng)，其特征在于，所述NaOH預(yù)定的質(zhì)量百分比濃度范圍為1％到5％，所述Na₂SiO₃預(yù)定的質(zhì)量百分比濃度不大于10％，所述異丙醇的預(yù)定的質(zhì)量百分比濃度范圍為5％到10％。

5.如權(quán)利要求1所述的制絨系統(tǒng)，其特征在于，所述制絨槽上設(shè)置有進(jìn)水孔以及排液孔。

6.一種制絨方法，用于在單晶硅片表面形成絨面，其特征在于，離線檢測(cè)制絨液中各組分的濃度值，并根據(jù)所述檢測(cè)結(jié)果進(jìn)行組分補(bǔ)充，以使所述制絨液的各組分的濃度值保持在預(yù)定的濃度范圍內(nèi)。

7.如權(quán)利要求6所述的制絨方法，其特征在于，所述制絨液的主要組分包括NaOH、Na₂SiO₃和異丙醇。

8.如權(quán)利要求7所述的制絨方法，其特征在于，離線檢測(cè)所述制絨液中各組分的濃度值的步驟包括：

從制絨槽中提取用于檢測(cè)其各組分的濃度值的制絨液；

通過酸堿滴定儀檢測(cè)所提取的制絨液中的NaOH和Na₂SiO₃的濃度值，以及

通過折射儀檢測(cè)所提取制絨液的IPA的濃度值；

根據(jù)該濃度值的結(jié)果進(jìn)行組分補(bǔ)充的步驟包括：

根據(jù)檢測(cè)的NaOH和Na₂SiO₃的濃度值添加NaOH和/或Na₂SiO₃，以及

根據(jù)檢測(cè)的異丙醇的濃度值添加異丙醇。

9.如權(quán)利要求6所述的制絨方法，其特征在于，所述單晶硅片插置在承載盒中，并按批次通過花籃架置放于所述制絨液中進(jìn)行制絨。

10.如權(quán)利要求9所述的制絨方法，其特征在于，所述離線檢測(cè)步驟和所述組分補(bǔ)充步驟在每批次的單晶硅片在制絨液中完成制絨后進(jìn)行。

11.如權(quán)利要求6或8或9所述的制絨方法，其特征在于，在進(jìn)行所述組分補(bǔ)充以后，再次離線檢測(cè)被補(bǔ)充后的制絨液中各組分的濃度值，如果所述制絨液的各組分的濃度值沒有保持在預(yù)定的濃度范圍內(nèi)，則再次根據(jù)濃度值的結(jié)果進(jìn)行對(duì)應(yīng)組分的補(bǔ)充。