[發明專利]顯示器的DFR膜顯影后的處理方法

有效

• 申請號: 201010620415.0
• 申請日: 2010-12-31
• 公開（公告）號: CN102087941B
• 公開（公告）日: 2011-06-08
• 發明（設計）人: 宋利建;呂旭東
• 申請（專利權）人: 四川虹歐顯示器件有限公司
• 主分類號: H01J9/24
• 分類號: H01J9/24
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 吳貴明

技術領域

本發明涉及氣體放電技術領域，更具體地，涉及一種顯示器的 DFR膜顯影后的處理方法。

背景技術

彩色等離子顯示器(Plasma?Display?Panel，簡稱PDP)，是利用 氣體放電產生真空紫外光(VUV)，該紫外光又激發三原色熒光粉 而產生紅綠藍三基色光，然后經過空間和時間的調試實現了圖像顯 示。AC表面放電型等離子顯示屏，分為前后基板。前基板包括ITO， 以及在ITO層上交替排列的X電極和Y電極，在X、Y電極上覆 蓋有一定厚度的介質層，再于介質層上沉積一層MgO薄膜；后基 板包括在玻璃基板上的尋址電極，覆蓋該尋址電極的介質層以及介 質層上具有的一定高度的障壁，障壁將放電空間隔離開并在其中涂 敷藍、綠、紅三色熒光粉。隨后將前、后玻璃基板封結在一起充入 氣體。經過Y電極和ADD尋址電極之間微弱放電產生壁電荷，這 時通電時X、Y電極之間會產生放電，產生的紫外光會激發障壁槽 內的三原色熒光粉發出可見光。

PDP顯示屏由前、后基板及制作在基板上的電極、障壁、介質、 熒光粉等功能器件組成。障壁制作一直是PDP制程中的瓶頸，特別 是隨著PDP分辨率的提高，對PDP障壁制作精度要求越來越高， 在制作高精細障壁時，DFR(干膜光刻膠，Dry?Film?Resist)膜加工 圖形精度和強度是制作的關鍵。由于障壁噴砂用的DFR膜一般比 較厚，DFR干膜的厚度范圍在40至60μm，顯影時溶脹的DFR膜 厚度將達到50至80μm，這樣的DFR膜在精細加工過程中，側壁 的陡峭十分重要，顯影條件十分苛刻。

發明內容

本發明旨在提供一種有利于提高DFR膜加工圖形精度和強度 的顯示器的DFR膜顯影后的處理方法。

根據本發明一種顯示器的DFR膜顯影后的處理方法，使用氯 化鈣水溶液處理DFR膜的斷面。

在該顯示器的DFR膜顯影后的處理方法中，所述氯化鈣水溶 液的濃度為0.1wt％-0.5wt％。

優選地，所述氯化鈣的濃度為約0.1wt％-0.2wt％。

優選地，所述氯化鈣的濃度為約0.3wt％-0.5wt％。

更優選地，所述氯化鈣的濃度為約0.1wt％。

更優選地，所述氯化鈣的濃度為約0.2wt％。

更優選地，所述氯化鈣的濃度為約0.5wt％。

采用本發明的顯示器的DFR膜顯影后的處理方法，使用化學 藥品處理DFR膜的斷面，尤其使用氯化鈣水溶液處理DFR膜的斷 面。為了控制DFR膜的顯影精度，通過化學藥品處理剛顯影后的 DFR膜，使殘留的碳酸鈉反應生成碳酸鈣，這樣就降低了殘留液體 側向侵入DFR斷面造成的影響，增強了DFR膜的強度，特別是那 些斷面比較粗糙部分的DFR膜的強度，進而提高了DFR膜的顯影 精度，提高了顯示器的顯示質量。

附圖說明

附圖用來提供對本發明的進一步理解，構成本申請的一部分， 本發明的示意性實施例及其說明用于解釋本發明，并不構成對本發 明的不當限定。在附圖中：

圖1是根據本發明的顯示器的DFR膜顯影后的處理方法的理 想狀態下的DFR膜在障壁的表面示意圖；以及

圖2是根據本發明的顯示器的DFR膜顯影后的處理方法的實 際DFR膜在顯示器的障壁表面的示意圖。

具體實施方式

根據本發明的具體實施方式，提供了一種新的DFR膜的工藝 處理方法。其中，為了控制DFR膜的顯影精度，引入濃度范圍為 0.1wt％-0.5wt％的氯化鈣溶液處理剛顯影后的DFR膜，碳酸鈉會 和氯化鈣反應生成碳酸鈣，這樣就實現了降低殘留液體側向侵入的 效果，增強了DFR膜的強度，特別是那些斷面比較粗糙部分的強 度。

通過利用氯化鈣溶液處理剛顯影后的DFR膜，能夠固化DFR 膜強度，提高保護膜側壁的陡峭度，提高障壁加工精度，降低障壁 加工的缺陷率。

在本發明的一個具體實施方式中，提供了一種顯示器的DFR 膜顯影后的處理方法，使用氯化鈣水溶液處理DFR膜的斷面。

在本發明的一個優選具體實施方式中，該顯示器的DFR膜顯 影后的處理方法中，所述氯化鈣水溶液的濃度為0.1wt％-0.5wt％。

在一更優選具體實施方式中，所述氯化鈣的濃度為約0.1 wt％-0.2wt％。