[發明專利]用于幾乎無接觸地接納扁平構件如硅基晶片的持取器

無效

• 申請號: 201010620346.3
• 申請日: 2010-12-22
• 公開（公告）號: CN102136443A
• 公開（公告）日: 2011-07-27
• 發明（設計）人: G·凱特爾
• 申請（專利權）人: 斯特拉瑪-MPS機械制造有限及兩合公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/687
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 吳鵬;馬江立

技術領域

本發明涉及一種根據權利要求1前序部分的持取器。

背景技術

在制造尤其是用于光電設備的太陽能電池時需要高靈敏度的硅基晶片，所述硅基晶片在生產過程期間有時放置在單用容器中，有時放置在收集容器中(可達100件)。但因為晶片本身容易彎曲并且具有非常敏感的表面，所以在將晶片從一個容器調換到另一個容器中時首先必須極其細心地操作。

所述類型的持取器是已知的，所述持取器具有一個支承裝置和三個設置在該支承裝置上的抽吸部位，據此在三個點上抽吸和保持構件。在此可能出現：在持取器接近構件后不是全部抽吸部位都直接貼靠在構件上，其結果是，或者不是全部抽吸部位都進行抓取或者不是相對于持取器的支承裝置平行地保持構件。后一種情況可能在放下構件時、尤其是在收集容器中放下構件時產生問題。也可能發生：本身不穩定的構件至少在輸送期間變形，這可能引起永久性的損壞并且在放下構件時還可能產生問題。

特別頻繁地出現的問題是：在抽吸晶片時，至少部分地帶有小沖擊地抽吸晶片，這一點可能導致表面損壞。

在此，本發明所基于的知識在于，構件、尤其是晶片，但也包括抽吸部位，由于制造而具有誤差(公差)，因此在持取器接近晶片之后一些抽吸部位直接貼靠在晶片上，而其它抽吸部位仍具有一定距離。如果對抽吸部位加載負壓/低壓(Unterdruck)，則晶片被抽吸到全部抽吸部位上，這對于仍具有一定距離的抽吸部位的情況導致晶片以一定程度的沖擊貼靠到該抽吸部位上。另外，由此會使晶片本身變形，這可能導致永久性的損壞并且在放下晶片時也可能導致歪斜。

發明內容

基于此，本發明的目的在于，提供一種開頭所述類型的、補償構件上和/或抽吸部位上的制造引起的誤差的持取器。

根據本發明，作為實現所述目的的技術方案，提出開頭所述類型的具有權利要求1特征的持取器。所述持取器的有利擴展構型可由從屬權利要求獲知。

按照所述技術教導構造的持取器具有以下優點：通過以能與支承裝置的平面垂直地移動的方式保持在抽吸頭接納部中的抽吸頭能夠補償晶片中和/或抽吸部位中的可能的制造誤差。在此，在持取器接近晶片時，抽吸頭在無大阻力的情況下沿其縱向軸線程度或多或少地移入支承裝置中，由此，最終全部抽吸頭都直接貼靠在扁平構件上。其結果是，扁平構件在輸送期間本身不彎曲，該構件相對于支承裝置平行地布置，全部抽吸部位都作用在構件上，以便實現可靠、小心的晶片輸送。

在此證實有利的是，抽吸頭精確匹配地配合到抽吸頭接納部中，使得抽吸頭在不歪斜的情況下沿其縱向軸線在抽吸頭接納部中延伸。

在抽吸頭的朝向晶片的前側上構造有環繞的貼靠面，晶片在其被輸送期間貼靠在所述貼靠面上。其優點是：由此提供一確定的貼靠面，該貼靠面與支承裝置平行地、平面地接納晶片。

在貼靠面內構造有抽吸空間，所述抽吸空間連接到一抽吸通道。由此可在抽吸空間中建立負壓，所述負壓吸引晶片，其中，晶片同時貼靠在抽吸頭的貼靠面上。在此狀態下，抽吸空間在所有側都被封閉，而在抽吸空間中建立的負壓保持晶片。

在一種有利的擴展構型中，抽吸頭借助一密封裝置、優選O圈抵靠抽吸頭接納部形成密封。由此，處于支承裝置上的抽吸通道被密封，由此能在投入不大的情況下在抽吸通道中以及在抽吸空間中達到期望的負壓。

在一種優選實施形式中，在抽吸頭的后側上構造有止擋，一旦抽吸頭發生最大移動，所述止擋便貼靠在支承裝置的后壁上。通過所述止擋限制抽吸頭的可移動性，其中，該止擋也有助于防止抽吸頭歪斜。

在抽吸頭的后側上構造有沿徑向伸出的突出部，所述突出部有利地構造成環繞的。一旦抽吸頭處于其初始位置中，所述突出部便貼靠在支承裝置上。一方面，其優點是：抽吸頭由此形狀鎖合地(formschlüssig)保持在支承裝置上，不會從抽吸頭接納部中掉出。

另一方面，由此產生優點：通過所述突出部來限制抽吸頭的運動自由。這一點之所以是有利的，尤其是因為由此可將抽吸頭定尺寸并布置成，使得抽吸頭的貼靠面至少基本上處于一個虛擬平面中。通過抽吸頭的可移動性則對晶片上和/或抽吸部位上的制造誤差進行補償。其結果是，在一種優選實施形式中，抽吸頭的可移動性僅為幾個十分之一毫米，但這完全足以補償在此出現的誤差。