[發明專利]一種清洗液及其清洗方法有效
| 申請號： | 201010619931.1 | 申請日： | 2010-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN102533474A | 公開（公告）日： | 2012-07-04 |
| 發明（設計）人： | 王勝利;劉兵;陳東強;彭洪修 | 申請（專利權）人： | 安集微電子(上海)有限公司 |
| 主分類號： | C11D10/02 | 分類號： | C11D10/02;B08B3/04 |
| 代理公司： | 上海翰鴻律師事務所 31246 | 代理人： | 李佳銘 |
| 地址： | 201203 上海市浦東新區張江高*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 清洗 及其 方法 | ||
1.一種清洗液，其包含：
a.堿，
b.有機溶劑，
c.表面活性劑。
2.如權利要求1所述的清洗液，其特征在于：所述的堿為氫氧化鈉，氫氧化鉀或四甲基氫氧化銨。
3.如權利要求1所述的清洗液，其特征在于：所述堿的含量為0.1～3wt％。
4.如權利要求1所述的清洗液，其特征在于：所述的有機溶劑為砜，亞砜，吡咯烷酮或酰胺。
5.如權利要求4所述的清洗液，其特征在于：所述的亞砜為二甲基亞砜；所述的砜為環丁砜；所述的吡咯烷酮為N-甲基吡咯烷酮、N-乙基吡咯烷酮、N-羥乙基吡咯烷酮和/或N-環己基吡咯烷酮；所述的酰胺為二甲基甲酰胺和/或二甲基乙酰胺。
6.如權利要求1所述的清洗液，其特征在于：所述的有機溶劑的含量在90～99wt％。
7.如權利要求1所述的清洗液，其特征在于：所述的表面活性劑為烷基磺酸鹽。
8.利用權利要求1～7任一項所述清洗液清洗過濾器的清洗方法，其特征在于：所述的清洗方法可按如下步驟進行：
a.經去離子水側面沖洗過濾器，排干循環管路中的去離子水；
b.利用清洗液循環一段時間后，靜置浸泡；
c.用去離子水把過濾器中殘存的清洗液沖洗干凈。
9.如權利要求8所述的清洗方法，其特征在于：在過濾器未清洗干凈之前，重復所述清洗方法中b，c步驟，直至過濾器中淤塞和濾孔中顆粒被溶解并沖刷干凈。
10.如權利要求9所述的清洗方法，其特征在于：經所述清洗方法清洗后使用目測過濾器顏色，過濾器壓力差檢測，pH變化標定和HPLC雜質檢驗的方法判定過濾器是否清洗干凈。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于安集微電子(上海)有限公司，未經安集微電子(上海)有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201010619931.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
