[發(fā)明專利]用于相變存儲(chǔ)器的Al-Sb-Te系列相變材料及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010619496.2
• 申請(qǐng)日: 2010-12-31
• 公開（公告）號(hào): CN102134698A
• 公開（公告）日: 2011-07-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭程;吳良才;饒峰;宋志棠;劉波;周夕淋;朱敏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
• 主分類號(hào): C23C14/06
• 分類號(hào): C23C14/06;C23C14/35;H01L45/00
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所 31219
• 代理人: 李儀萍

1.一種用于相變存儲(chǔ)器的Al-Sb-Te系列相變材料，其特征在于：該材料是一種由鋁、銻、碲三種元素組成的混合物。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于相變存儲(chǔ)器的Al-Sb-Te系列相變材料，其特征在于：該相變材料的通式為Al_x(Sb_yTe₁)_1-x，其中0＜x≤0.85，0.67≤y≤7。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于相變存儲(chǔ)器的Al-Sb-Te系列相變材料，其特征在于：該相變材料中的鋁、銻、碲三種元素兩兩成鍵，組成三元體系。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于相變存儲(chǔ)器的Al-Sb-Te系列相變材料，其特征在于：該相變材料中的鋁元素和銻元素之間成鍵，形成AlSb半導(dǎo)體。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于相變存儲(chǔ)器的Al-Sb-Te系列相變材料，其特征在于：該相變材料采用電脈沖作用實(shí)現(xiàn)電阻率的可逆轉(zhuǎn)變。

6.一種用于相變存儲(chǔ)器的Al-Sb-Te系列相變材料的制備方法，其特征在于：采用磁控濺射制備Al_x(Sb_yTe₁)_1-x相變材料，其中0＜x≤0.85，0.67≤y≤7。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述用于相變存儲(chǔ)器的Al-Sb-Te系列相變材料的制備方法，其特征在于：在磁控濺射中采用多靶共濺射的方法。