[發明專利]一種太陽能級帶渣硅料的分離和提純方法有效
| 申請號: | 201010618464.0 | 申請日: | 2010-12-30 |
| 公開(公告)號: | CN102173422A | 公開(公告)日: | 2011-09-07 |
| 發明(設計)人: | 汪賀杏;王麗 | 申請(專利權)人: | 上海九晶電子材料股份有限公司 |
| 主分類號: | C01B33/037 | 分類號: | C01B33/037 |
| 代理公司: | 上海天翔知識產權代理有限公司 31224 | 代理人: | 呂伴 |
| 地址: | 201617 *** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 太陽 能級 帶渣硅料 分離 提純 方法 | ||
1.一種太陽能級帶渣硅料的分離和提純方法,其特征在于,具體包括如下步驟:
1)、用百潔布蘸取洗潔精擦洗帶渣硅料表面,用純水沖洗干凈,烘干;
2)、將帶渣硅料投爐、抽空、檢查冷卻水是否暢通,漏氣速率小于0.5pa/min,水壓應保持在0.15-0.18Mpa,確認正常后方可升溫;
3)、整個熔融過程的升溫分三步進行:第一步:升溫加熱功率20~30kw,加熱時間20-30min;第二步:升溫加熱功率60-70kw,加熱時間20-30min;第三步:升溫加熱功率90-100kw,直到全熔狀態;
4)、待帶渣硅料全熔后,先拉取一段目標多晶,之后將目標多晶回熔,利用在回熔過程中固態與液態之間的溫度差對硅溶液中的固態浮渣進行吸附;
5)、將籽晶插入液面下,降低功率至50-60Kw控制溫度在1400℃左右,拉速控制在2.5-4mm/min,引出多晶,然后等徑拉制出吊料多晶圓棒;
6)、收尾、停爐。
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