[發(fā)明專利]時(shí)分復(fù)用微機(jī)電系統(tǒng)塊狀流體傳感器及其工作方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010615928.2
• 申請日: 2010-12-30
• 公開（公告）號(hào): CN102147420A
• 公開（公告）日: 2011-08-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 牟詩城;高鵬;徐超;吳元慶;屈懷泊
• 申請（專利權(quán)）人: 國家納米技術(shù)與工程研究院
• 主分類號(hào): G01P5/10
• 分類號(hào): G01P5/10;G01F25/00;G01K17/10;G01N9/00;B81B7/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種時(shí)分復(fù)用微機(jī)電系統(tǒng)塊狀流體傳感器，其特征在于它由溫度傳感器、微加熱器、加熱器控制器、處理器、多孔硅層、襯底及掩埋層構(gòu)成；所說的溫度傳感器與微加熱器相鄰；所說的加熱器控制器與微加熱器連接，并提供加熱能量作為給微加熱器的電脈沖；所說的處理器置于流體中接收流速的輸入量直接確定流速；所說的溫度傳感器為兩個(gè)，分別置于流體的上游和下游；所說的溫度傳感器和微加熱器制作在半導(dǎo)體襯底上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所說的一種時(shí)分復(fù)用微機(jī)電系統(tǒng)塊狀流體傳感器，其特征在所說的流體直徑是50mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所說的一種時(shí)分復(fù)用微機(jī)電系統(tǒng)塊狀流體傳感器，其特征在所說的溫度傳感器與微加熱器的距離為2～12um。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所說的一種時(shí)分復(fù)用微機(jī)電系統(tǒng)塊狀流體傳感器，其特征在所說的溫度傳感器為金屬條，包括金或鉑。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所說的一種時(shí)分復(fù)用微機(jī)電系統(tǒng)塊狀流體傳感器，其特征在所說的微加熱器為兩個(gè)，之間的距離50～5000um。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所說的一種時(shí)分復(fù)用微機(jī)電系統(tǒng)塊狀流體傳感器，其特征在所說的微加熱器為金屬條，包括金或鉑。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所說的一種時(shí)分復(fù)用微機(jī)電系統(tǒng)塊狀流體傳感器，其特征在所說的電脈沖為調(diào)制電子能量，或調(diào)制正弦波電子能量，或方波電子能量，或特定頻率的調(diào)制電子能量。

8.一種權(quán)利要求1所說的時(shí)分復(fù)用微機(jī)電系統(tǒng)塊狀流體傳感器的工作方法，其特征在于它包括以下步驟：

(1)將溫度傳感器放置在流體中與微加熱器短的距離內(nèi)，并給加熱器提供加熱能量測量延時(shí)，通過溫度傳感器和加熱器的相關(guān)溫度變化量確定流速；

(2)給加熱器提供一個(gè)調(diào)制的正弦曲線加熱能量并從加熱器溫度變化量確定一個(gè)溫度響應(yīng)，通過應(yīng)用鎖相放大技術(shù)測量相外相內(nèi)比來確定相位移并根據(jù)相位移確定流速；

(3)不斷確定流速以此來不斷監(jiān)測流體具體的熱量；不斷地測量壓力并用流體的具體熱量去不斷地監(jiān)測流體的密度和成份。