[發明專利]圖案化BiFeO3薄膜的光刻自組裝制備方法無效
| 申請號： | 201010615750.1 | 申請日： | 2010-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN102163486A | 公開（公告）日： | 2011-08-24 |
| 發明（設計）人： | 談國強;王艷;任宣儒;宋亞玉 | 申請（專利權）人： | 陜西科技大學 |
| 主分類號： | H01F10/32 | 分類號： | H01F10/32;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責任公司 61200 | 代理人： | 汪人和 |
| 地址： | 710021*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圖案 bifeo sub 薄膜 光刻 組裝 制備 方法 | ||
1.一種圖案化BiFeO3薄膜的光刻自組裝制備方法，其特征在于，該方法包括下述制備步驟：
(1)選用普通載玻片為基底，將切割好的玻璃基片分別超聲波清洗，吹干；并將潔凈的玻璃基片置于紫外光照射儀中照射10-20min；
(2)將經紫外光照射后的玻璃基片置于體積百分比濃度1％十八烷基三氯硅烷OTS-甲苯溶液中，在室溫條件下浸泡20-40min，使基片表面形成一層OTS單分子膜；浸泡完成后用丙酮清洗2-3min，并用氮氣吹干，之后在110-130℃烘3-5min；然后將OTS-SAMs基體在光掩膜的覆蓋下，在紫外光下照射30-40min，得到圖案化的功能自組裝薄膜；
(3)配制BiFeO3前驅體溶液，并將圖案化的功能自組裝薄膜的OTS-SAMs基體豎直置于配制好的前驅液中，在60-80℃下保溫7-8h，沉積結束后用超聲波震蕩清洗，之后將薄膜在550-620℃退火2-3h，即得光刻自組裝的圖案化BiFeO3薄膜。
2.根據權利要求1所述的一種圖案化BiFeO3薄膜的光刻自組裝制備方法，其特征在于，所述步驟(1)中超聲波清洗為分別依次采取用洗滌劑、丙酮和乙醇各清洗10min，每次清洗后用蒸餾水沖洗基片至潔凈后用氮氣吹干。
3.根據權利要求1所述的一種圖案化BiFeO3薄膜的光刻自組裝制備方法，其特征在于，所述步驟(1)中紫外光照射儀采取取λ＝184.9nm。
4.根據權利要求1所述的一種圖案化BiFeO3薄膜的光刻自組裝制備方法，其特征在于，所述步驟(2)中OTS-甲苯溶液按照下述方法配制：
用量筒稱取甲苯于燒杯中，再加入占溶液體積總量為1％的十八烷基三氯硅烷溶液，在磁力攪拌機上充分攪拌均勻即得。
5.根據權利要求1所述的一種圖案化BiFeO3薄膜的光刻自組裝制備方法，其特征在于，所述步驟(3)中BiFeO3前驅體溶液按照下述方法配制：
將0.01mol/L的Bi(NO3)3·5H2O和0.01mol/L的Fe(NO3)3·9H2O加入到50mL醋酸溶液中充分攪拌使之完全溶解，然后加入0.02mol/L的檸檬酸攪拌1h，即得到穩定的BiFeO3前驅體溶液。
6.根據權利要求5所述的一種圖案化BiFeO3薄膜的光刻自組裝制備方法，其特征在于，所述醋酸溶液是由體積百分比97.4％的蒸餾水及2.6％的冰醋酸配制而成。
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