[發明專利]硅片傳輸機械手雙電機同步控制裝置及其方法

有效

• 申請號: 201010614226.2
• 申請日: 2010-12-30
• 公開（公告）號: CN102545733A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 曲道奎;王金濤;宋吉來;鄒風山
• 申請（專利權）人: 沈陽新松機器人自動化股份有限公司
• 主分類號: H02P5/50
• 分類號: H02P5/50;H02P5/52
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 李曉光

1.一種硅片傳輸機械手雙電機同步控制裝置，其特征在于包括：主計算機、DSP電機同步控制卡、電機驅動器以及電機，其中主計算機作為主機，DSP電機同步控制卡作為從機，二者進行通信連接，DSP電機同步控制卡的兩輸出端分別與兩個電機驅動器相連，每個電機驅動器的控制輸出端接至電機，電機轉速信息通過電機驅動器送至DSP電機同步控制卡。

2.按權利要求1所述的硅片傳輸機械手雙電機同步控制裝置，其特征在于：所述DSP電機同步控制卡具有DSP數字信號處理器，通過CAN接口電路與主計算機進行通信，通過存儲器保存程序運行過程中的數據，通過模擬量輸出電路與電機驅動器相連，通過編碼器接口電路接收電機驅動器返回的碼盤數據。

3.一種硅片傳輸機械手雙電機同步控制方法，其特征在于包括以下步驟：

主計算機通過軌跡規劃計算，得到兩個電機輸出軸的期望位置；

通過編碼器接口電路讀取兩個電機輸出軸的實際位置；

通過期望位置與實際位置求差值進行PID計算得到單軸位置閉環控制量輸出給電機驅動器，實現單軸位置閉環控制；

通過兩個電機輸出軸的實際位置計算得到兩個電機輸出軸的實際速度；

根據兩個電機輸出軸的實際速度分別求兩個電機輸出軸的速度差和位置差；

將上述速度差和位置差輸入交叉耦合控制器進行處理，得到交叉耦合控制量；

將交叉耦合控制量與單軸位置閉環控制量相加或減，然后輸出給電機驅動器，實現兩軸的交叉耦合同步控制。

4.按權利要求3所述的片傳輸機械手雙電機同步控制方法，其特征在于：所述交叉耦合控制器對速度差和位置差相加，再通過比例計算得到交叉耦合控制量。