[發明專利]晶片拋光裝置

無效

• 申請號: 201010614109.6
• 申請日: 2010-12-30
• 公開（公告）號: CN102152218A
• 公開（公告）日: 2011-08-17
• 發明（設計）人: 奚耀華;夏澍;劉啟棟
• 申請（專利權）人: 青島嘉星晶電科技股份有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02
• 代理公司: 青島發思特專利商標代理有限公司 37212
• 代理人: 鞏同海

1.一種晶片拋光裝置，其特征在于，包括

帶有拋光面的旋轉拋光臺(101)，能繞其軸線旋轉；

用于固定保持所述晶片(112)的晶片保持件(102)；

通過所述晶片保持件(102)將所述晶片(112)壓向所述旋轉拋光臺(101)拋光面的加壓裝置(103)；

用于驅動所述晶片保持件(102)自旋及產生徑向往復運動的驅動機構(104)。

2.根據權利要求1所述的晶片拋光裝置，其特征在于，所述晶片保持件(102)的數量為3-5個，每個晶片保持件(102)均勻粘結多個所述晶片(112)。

3.根據權利要求1所述的晶片拋光裝置，其特征在于，所述加壓裝置(103)為砝碼。

4.根據權利要求1所述的晶片拋光裝置，其特征在于，所述驅動機構(104)包括主電機(108)、偏心軸(107)、第一機械臂(109)、第二機械臂(106)、自旋電機(110)、自旋膠輪(111)和從動膠輪(105)，主電機(108)通過偏心軸(107)連接第一機械臂(109)和第二機械臂(106)，第一機械臂(109)一端連接偏心軸(107)，另一端通過自旋電機(110)連接自旋膠輪(111)，第二機械臂(106)一端連接偏心軸(107)，另一端連接從動膠輪(105)，自旋膠輪(111)和從動膠輪(105)分別置于所述晶片保持件(102)的兩端，與晶片保持件(102)緊密接觸。