[發明專利]一種應用于晶體硅太陽能電池的擴散方法有效

申請號：	201010613324.4	申請日：	2010-12-30
公開（公告）號：	CN102157606A	公開（公告）日：	2011-08-17
發明（設計）人：	俆英乾	申請（專利權）人：	光為綠色新能源有限公司
主分類號：	H01L31/18	分類號：	H01L31/18;C30B31/08
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	074000 河北省高***	國省代碼：	河北;13
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種應用于晶體太陽能電池擴散方法
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【權利要求書】：

1.一種應用于晶體硅太陽能電池的擴散方法，其特征在于：其包括以下步驟：

(1)將硅片放入擴散爐內；溫度從780-810℃升至840℃-860℃，同時通入POCL₃600-1000sccm、O₂?200-500sccm、N₂?4-8slm，用時12-14min；

(2)當擴散爐溫度升至840-860℃，恒溫2-5min，同時通入O₂?200-500sccm、N₂?5-9slm；溫度從840-860℃升至870-890℃，同時通入POCL₃?400-700sccm、O₂?200-500sccm、N₂4-8slm，用時8-12min；然后將溫度從870-890℃降至800℃，在降溫過程中通入O₂300-800sccm、N₂?5-9slm；在800℃穩定2min，并通入POCL₃?800-2000sccm、O₂?500-1000sccm、N₂?5-12slm；

(3)將硅片從擴散爐內取出。

2.根據權利要求1所述的應用于晶體硅太陽能電池的擴散方法，其特征在于：其包括以下步驟：

(1)將硅片放入擴散爐內；溫度從810℃升至840℃，升溫同時通入POCL₃?700sccm、O₂?200sccm、N₂?6slm，用時12min；

(2)在840℃穩定2min，同時通入O₂?300sccm，N₂?6slm；溫度從840℃升至870℃，升溫同時通入POCL₃?500sccm、O₂?300sccm、N₂?6slm，用時8min；溫度從870℃降至800℃，降溫同時通入O₂?500sccm、N₂?6slm；在800℃穩定2min，同時通入POCL₃?1200sccm、O₂?500sccm、N₂?9slm；

(3)將硅片從擴散爐內取出。

3.根據權利要求1所述的應用于晶體硅太陽能電池的擴散方法，其特征在于：其包括以下步驟：

(1)將硅片放入擴散爐內；溫度從780℃升至850℃，升溫同時通入POCL₃?1000sccm、O₂?500sccm、N₂?8slm，用時13min；

(2)在850℃穩定3min，同時通入O₂?400sccm，N₂?9slm；溫度從850℃升至880℃，升溫同時通入POCL₃?700sccm、O₂?500sccm、N₂?8slm，用9min；溫度從880℃降至800℃，降溫同時通入O₂?800sccm、N₂?9slm；在800℃穩定2min，同時通入POCL₃?2000sccm、O₂800sccm、N₂?10slm；

(3)將硅片從擴散爐內取出。

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