[發明專利]一種納米級微小位移測量裝置

無效

• 申請號: 201010611080.6
• 申請日: 2010-12-29
• 公開（公告）號: CN102538650A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 徐方;賈凱;褚明杰;楊奇峰
• 申請（專利權）人: 沈陽新松機器人自動化股份有限公司
• 主分類號: G01B7/02
• 分類號: G01B7/02
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 李曉光

1.一種測量納米級微小位移測量裝置，其特征在于：包括時序及充電電路、傳感電路、積分及放大電路、差分采樣電路以及濾波電路，上述電路順序電連接，其中：

時序及充電電路，產生傳感電路所需的充電脈沖及差分采樣電路所需的時序信號；

傳感電路，接收微小位移信號，輸出相應的微小電流信號至積分及放大電路；

積分及放大電路，接收微小電流信號，輸出電壓信號至差分采樣電路；

差分采樣電路，對積分及放大電路輸入的電壓信號進行差分處理；

濾波電路，對經過差分處理后信號進行濾波處理，得到最后的檢測信號。

2.按權利要求1所述的測量納米級微小位移測量裝置，其特征在于：所述傳感電路包括時序單元和信號探測單元，其中時序電路產生高頻驅動脈沖經跟隨及反向處理后與信號探測單元中的測量電容傳感器(C_s)的第一端子以及參考電容(C_r)的第一端子連接，測量電容傳感器(C_s)的第二端子與參考電容(C_r)的第二端子直接相連后，輸出微小電流信號。

3.按權利要求2所述的測量納米級微小位移測量裝置，其特征在于：所述驅動脈沖由CPLD控制開關元件產生。

4.按權利要求1所述的測量納米級微小位移測量裝置，其特征在于：所述測量電容傳感器(C_s)和參考電容(C_r)的充放電由高頻方波驅動。

5.按權利要求1所述的測量納米級微小位移測量裝置，其特征在于：所述差分采樣電路中的控制時鐘由時序電路提供，相位相差90°，產生的差分信號由減法電路做減法運算并放大。