[發明專利]偏移量的生成方法和裝置

有效

• 申請號: 201010610648.2
• 申請日: 2010-12-17
• 公開（公告）號: CN102534572A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 易璨
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: C23C16/52
• 分類號: C23C16/52;C23C16/54
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 張天舒;陳源

1.一種偏移量的生成方法，其特征在于，包括：

根據第一實際位置和第一標準位置，生成頂點偏移量，所述第一實際位置為第一特征點的實際位置，所述第一標準位置為第一特征點的標準位置；

根據擺放列數、第一實際位置、第二實際位置、所述第一標準位置和第二標準位置，生成橫向偏移量，所述第二標準位置為第二特征點的標準位置，所述第二實際位置為第二特征點的實際位置；

根據擺放行數、所述第一實際位置、所述第二實際位置、所述第一標準位置和所述第二標準位置，生成縱向偏移量；

根據所述第一實際位置、所述第二實際位置、所述第一標準位置和所述第二標準位置，生成整體偏轉角度。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一特征點和所述第二特征點對角設置。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一標準位置包括第一標準橫向坐標值和第一標準縱向坐標值，所述第二標準位置包括第二標準橫向坐標值和第二標準縱向坐標值，所述第一標準橫向坐標值為0，所述第一標準縱向坐標值為0。

4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述第一實際位置包括第一實際橫向坐標值和第一實際縱向坐標值，所述頂點偏移量包括頂點橫向偏移量和頂點縱向偏移量；

所述根據第一實際位置和第一標準位置，生成頂點偏移量包括：

將所述第一實際橫向坐標值和所述第一標準橫向坐標值相減，生成所述頂點橫向偏移量；

將所述第一實際縱向坐標值和所述第一標準縱向坐標值相減，生成所述頂點縱向偏移量。

5.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述第一實際位置包括第一實際橫向坐標值和第一實際縱向坐標值，所述第二實際位置包括第二實際橫向坐標值和第二實際縱向坐標值；

所述根據擺放列數、第一實際位置、第二實際位置、所述第一標準位置和第二標準位置，生成橫向偏移量之前包括：

對所述第一實際橫向坐標值進行坐標變換以及對所述第一實際縱向坐標值進行坐標變換，生成第一變換位置，所述第一變換位置為第一特征點的變換位置，所述第一變換位置包括第三實際橫向坐標值和第三實際縱向坐標值，所述第三實際橫向坐標值為0，所述第三實際縱向坐標值為0；

將所述第二實際橫向坐標值減去所述第一實際橫向坐標值以及將所述第二實際縱向坐標值減去所述第一實際縱向坐標值，生成第二變換位置，所述第二變換位置為第二特征點的變換位置，所述第二變換位置包括第四實際橫向坐標值和第四實際縱向坐標值。

6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述擺放列數大于或者等于2，所述根據擺放列數、第一實際位置、第二實際位置、所述第一標準位置和第二標準位置，生成橫向偏移量包括：

根據所述擺放列數、所述第一變換位置、所述第二變換位置、所述第一標準位置和所述第二標準位置，生成所述橫向偏移量，具體包括：

根據所述第三實際橫向坐標值、所述第三實際縱向坐標值、所述第四實際橫向坐標值和所述第四實際縱向坐標值，生成第一實際位置連線長度，所述第一實際位置連線長度為第二變換位置和第一變換位置間連線的長度；

根據所述第一標準橫向坐標值、所述第一標準縱向坐標值、所述第二標準橫向坐標值和所述第二標準縱向坐標值，生成第一標準位置連線長度，所述第一標準位置連線長度為第一標準位置和第二標準位置間連線的長度；

根據所述第二標準橫向坐標值和所述第二標準縱向坐標值，生成第一夾角α，所述第一夾角α為第一標準位置和第二標準位置間連線與直角坐標系中縱軸的夾角；

將所述第一實際位置連線長度和所述第一標準位置連線長度的差值與sinα相乘，生成橫向長度差值；

將所述橫向長度差值與所述擺放列數和1的差值相除，生成所述橫向偏移量。