[發(fā)明專利]一種硅片的拋光方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010609918.8 | 申請日： | 2010-12-16 |
| 公開（公告）號： | CN102172878A | 公開（公告）日： | 2011-09-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陳躍驊 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江旭盛電子有限公司 |
| 主分類號： | B24B29/02 | 分類號： | B24B29/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 杭州天正專利事務(wù)所有限公司 33201 | 代理人： | 舒良 |
| 地址： | 324300 浙江省開*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 硅片 拋光 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種硅片的拋光方法，其特征在于將清洗、堿腐蝕后的硅片用拋光臘粘貼定位在拋光機(jī)的拋光板上，控制拋光液的流量在60～100ml/min之間并開始加壓拋光，在0～5分鐘之間將壓力控制在0.1～0.2KG/cm2，在5～10分鐘之間將壓力控制在0.4～0.5KG/cm2，在10～20分鐘之間將壓力控制在0.8～1KG/cm2，之后，停止拋光；然后，在拋光面不變的情況下，將硅片從原定位的位置旋轉(zhuǎn)180度后用拋光臘重新粘貼定位在拋光機(jī)的拋光板上，并重新開始上述條件下的拋光，如此反復(fù)多次即可。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片的拋光方法，其特征在于將硅片用拋光臘粘貼定位在拋光機(jī)的拋光板上之前，應(yīng)在硅片與拋光蠟之間鋪設(shè)鏡頭紙。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片的拋光方法，其特征在于拋光蠟的目數(shù)在400目以上。
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