[發(fā)明專(zhuān)利]一種用于連續(xù)熔化與組織控制多晶硅的方形電磁冷坩堝

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010609762.3
• 申請(qǐng)日: 2010-12-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102108548A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳瑞潤(rùn);黃鋒;丁宏升;郭景杰;李新中;蘇彥慶;傅恒志
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 哈爾濱工業(yè)大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): C30B28/06
• 分類(lèi)號(hào): C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所 23109
• 代理人: 楊立超

1.一種用于連續(xù)熔化與組織控制多晶硅的方形電磁冷坩堝，它包括坩堝主體(1)、進(jìn)水管(2)、出水管(3)、若干個(gè)細(xì)水管(4)和感應(yīng)線(xiàn)圈(5)，所述坩堝主體(1)由上半體(1-1)和下半體(1-2)組成，所述上半體(1-1)與下半體(1-2)固接，所述進(jìn)水管(2)通過(guò)細(xì)水管(4)與下半體(1-2)連通，所述出水管(3)通過(guò)細(xì)水管(4)與下半體(1-2)連通，所述感應(yīng)線(xiàn)圈(5)套在上半體(1-1)上，其特征在于：所述坩堝主體(1)的橫截面為方環(huán)狀的空腔體，所述上半體(1-1)分割成十六個(gè)截面為花瓣?duì)畹闹w(6)，十六個(gè)截面為花瓣?duì)畹闹w(6)沿坩堝主體(1)水平截面上的水平軸和垂直軸對(duì)稱(chēng)，水平軸和垂直軸的交點(diǎn)與坩堝主體(1)水平截面上的中心重合，每個(gè)截面為花瓣?duì)畹闹w(6)的內(nèi)部設(shè)有通孔(7)，所述下半體(1-2)的底面上與截面為花瓣?duì)畹闹w(6)的通孔(7)對(duì)應(yīng)位置開(kāi)有縱向盲孔(8)，每個(gè)縱向盲孔(8)與對(duì)應(yīng)的通孔(7)連通，十六個(gè)盲孔(8)分為八組，每組內(nèi)的兩個(gè)盲孔(8)連通，每個(gè)盲孔(8)通過(guò)細(xì)水管(4)與出水管(3)連通，每相鄰兩個(gè)截面為花瓣?duì)畹闹w(6)之間留有間隙(9)，所述間隙(9)內(nèi)填充有絕緣密封材料層(10)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種用于連續(xù)熔化與組織控制多晶硅的方形電磁冷坩堝，其特征在于：所述絕緣密封材料層(10)為天然云母片和環(huán)氧樹(shù)脂制成的絕緣密封材料層(10)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種用于連續(xù)熔化與組織控制多晶硅的方形電磁冷坩堝，其特征在于：所述細(xì)水管(4)與進(jìn)水管(2)、細(xì)水管(4)與出水管(3)、細(xì)水管(4)與坩堝主體(1)的下半體(1-2)均通過(guò)焊接連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種用于連續(xù)熔化與組織控制多晶硅的方形電磁冷坩堝，其特征在于：所述坩堝主體(1)的長(zhǎng)度(L)為80mm～100mm，所述坩堝主體(1)的寬度(W)為80mm～100mm，所述坩堝主體(1)的高度(H)為100mm～130mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種用于連續(xù)熔化與組織控制多晶硅的方形電磁冷坩堝，其特征在于：所述間隙(9)的長(zhǎng)度(a)為90mm～120mm，所述間隙(9)的寬度(b)為0.4mm～0.6mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3、4或5所述一種用于連續(xù)熔化與組織控制多晶硅的方形電磁冷坩堝，其特征在于：所述一種用于連續(xù)熔化與組織控制多晶硅的方形電磁冷坩堝還包括絕緣帶(11)，所述絕緣帶(11)的外表面上涂有一層環(huán)氧樹(shù)脂層，所述絕緣帶(11)纏繞在坩堝主體(1)的外表面上，且絕緣帶(11)位于坩堝主體(1)的外表面與感應(yīng)線(xiàn)圈(5)之間。