[發明專利]工藝數據的獲取、存儲方法和裝置以及工藝數據處理系統

有效

• 申請號: 201010608964.6
• 申請日: 2010-12-27
• 公開（公告）號: CN102542143A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 李福增;楊洋
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: G06F19/00
• 分類號: G06F19/00;G06F21/24;G06F17/30
• 代理公司: 北京潤澤恒知識產權代理有限公司 11319
• 代理人: 蘇培華

技術領域

本發明涉及生產線設備控制的技術領域，特別是涉及一種工藝數據的獲取方法及裝置、一種工藝數據的存儲方法及裝置以及一種工藝數據處理系統。

背景技術

隨著單個工藝技術的發展，以及工藝過程的日趨復雜、系統化程度越來越高，工藝過程自動化控制技術也應用得更加廣泛。目前較為通用的一種工藝過程自動化控制技術為Recipe技術。

Recipe即工業自動化制造中的秘方，其內容包含工藝過程中的多個步驟，以及各個步驟中的各種工藝參數值和本步驟持續時間。在自動化生產過程中，生產線設備可以依據Recipe的內容完成對物料的加工，產品的質量可通過調整Recipe來改進，所以一個先進的Recipe對提升產品價值有著非常重要的作用，尤其是在半導體生產業。

生產線設備的控制架構涉及上位機程序與下位機程序的交互，對Recipe的管理就實現在下位機程序中，Recipe的工藝數據保存為XML文件，統一存放在下位機上。用戶通過上位機程序的操作界面可以進行查看Recipe、編輯Recipe、保存Recipe、導出Recipe等操作。在已有的Recipe操作技術中，如果用戶都是通過上位機程序進行Recipe的操作，那么對于工廠的生產線而言是一種安全的可控的行為，因為用戶都是經過權限驗證，并且相關的操作都會形成日志記錄，一旦發生重要Recipe工藝參數泄露問題可以依據日志追查，進而保證工廠的核心生產加工數據的安全。

但是，如果有用戶不通過上位機程序而是直接登錄到下位機，通過磁盤拷貝、網絡拷貝等方式即可輕松地獲取所有Recipe的XML文件。由于目前已有的工藝數據XML文件中的數據是以明文形式存在的，一旦XML文件被拷貝，一些關鍵的工藝數據，如工藝配方數據無需經過處理很容易就被獲得。對于現有的Recipe管理方式來說，無法避免這類問題的發生，從而造成很大的安全隱患。

因此，目前需要本領域技術人員迫切解決的一個技術問題就是：如何能夠創新地提出一種工藝數據的獲取機制，用以保證工藝數據，特別是關鍵的工藝數據的安全性。

發明內容

本發明提供一種工藝數據的存取方法、裝置以及一種工藝數據處理系統，用以保證工藝數據，特別是關鍵的工藝數據的安全性。

為了解決上述技術問題，本發明實施例公開了一種工藝數據的獲取方法，包括：

依據工藝數據獲取請求，查找對應的工藝數據文件；

解析所述工藝數據文件，若所述工藝數據文件中存在工藝參數值密文，則按照預置的解密規則對所述工藝參數值密文進行解密，以獲得工藝參數值明文。

優選的，所述工藝數據獲取請求為，上位機向下位機發送的用戶指定工藝數據的獲取請求，由下位機執行所述查找工藝數據文件和解析工藝數據文件的操作；所述的方法還包括：

上位機依據用戶提交的工藝數據查看請求，發起對用戶的鑒權；

在對用戶鑒權通過后，上位機向下位機發送用戶指定工藝數據的獲取請求。

優選的，所述按照預置解密規則對工藝參數值密文進行解密的步驟包括：

下位機獲得解密密鑰，所述解密密鑰依據上位機信息和下位機信息生成；

利用所述解密密鑰對工藝參數值密文進行解密，獲得工藝參數值明文。

優選的，所述解密密鑰為，將所述上位機信息和下位機信息按順序組合成的密鑰字符串；

或為，采用加解密算法對所述上位機信息和下位機信息進行計算產生的密鑰字符串。

優選的，所述利用解密密鑰對工藝參數值密文進行解密的步驟進一步包括：

針對所述工藝參數值密文采用特定加解密算法，用所述解密密鑰進行解密，獲得數字字符串；

將所述數字字符串解析成值，以獲得工藝參數值明文。

優選的，所述的方法，還包括：

所述下位機保存從所述工藝數據文件解析獲得的工藝數據，并在所述上位機展示所述工藝數據。

優選的，所述工藝數據為Recipe的工藝數據，所述上位機向下位機發送的工藝數據獲取請求中包括Recipe的ID；

所述下位機依據所述請求查找對應的工藝數據文件的步驟進一步包括：

所述下位機依據工藝數據獲取請求中Recipe的ID，在Recipe名字空間查找到指定的管理態Recipe；

根據所述管理態Recipe獲得工藝數據文件的絕對存儲路徑。

優選的，所述工藝參數值為，Recipe每個步驟step中的工藝參數值；所述工藝數據文件為XML文件。