[發明專利]一種極薄覆蓋層厚度的測量方法無效
| 申請號: | 201010608424.8 | 申請日: | 2010-12-28 |
| 公開(公告)號: | CN102564326A | 公開(公告)日: | 2012-07-11 |
| 發明(設計)人: | 程祥勇;廖立新 | 申請(專利權)人: | 中國航空工業標準件制造有限責任公司 |
| 主分類號: | G01B11/06 | 分類號: | G01B11/06 |
| 代理公司: | 貴州國防工業專利中心 52001 | 代理人: | 蔡麗華 |
| 地址: | 550014 貴州*** | 國省代碼: | 貴州;52 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 覆蓋層 厚度 測量方法 | ||
【權利要求書】:
1.一種極薄覆蓋層厚度的測量方法,是在金相試樣上,采用斜交于覆蓋層取樣,按照GB6462-86《金屬和氧化物覆蓋層橫斷面厚度顯微鏡測量方法》通過顯微鏡測量試樣的厚度值,其特征在于:沿垂直于覆蓋層的截取面截取試樣,得到的截面為檢測面,測得其厚度測量值為a,在與覆蓋層表面斜交、夾角為α的面截取檢測放大面,得到檢測放大面,測得其厚度測量值為b,則最終測定值δ=bsinα。
2.根據權利要求1所述的極薄覆蓋層厚度的測量方法,其特征在于:檢測放大面與覆蓋層表面斜交的角α為銳角。
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