[發明專利]MEMS顯示器

有效

• 申請號: 201010607808.8
• 申請日: 2010-12-27
• 公開（公告）號: CN102566040A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 毛劍宏;唐德明
• 申請（專利權）人: 上海麗恒光微電子科技有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種MEMS顯示器，其特征在于，包括相互獨立的像素陣列區以及光源，所述像素陣列區包括陣列排布的像素單元，所述光源產生的光束入射像素陣列區后，經過多級光路切換開關路由，從像素單元中出射成像；所述光切換開關包括：一個輸入光路、兩個輸出光路和光路轉換元件，所述光路轉換元件將光束選擇性地從輸入光路路由至其中一個輸出光路，所述光路轉換元件包括：

半導體襯底及其表面的層間介質層；位于層間介質層內的空腔，所述空腔的一端連接輸入光路，另一端由隔離層間隔成上空腔以及下空腔，所述上空腔以及下空腔分別連接兩個輸出光路；

位于所述空腔內的彈性導光片，所述彈性導光片采用反光材料，包括連接于所述隔離層的固定端以及朝向輸入光路懸置于空腔內的自由端；所述自由端在受到施加于空腔內的力場影響時，在空腔頂部至空腔底部間移動。

2.如權利要求1所述的MEMS顯示器，其特征在于，所述光路轉換元件還包括分別位于空腔頂部以及底部的上誘導板、下誘導板，通過對所述上誘導板以及下誘導板通電，在空腔內形成垂直于光路傳輸路徑的力場；所述彈性導光片的自由端位于所述力場中。

3.如權利要求2所述的MEMS顯示器，其特征在于，所述上誘導板以及下誘導板設置于空腔腔壁上或作為空腔腔壁的一部分。

4.如權利要求3所述的MEMS顯示器，其特征在于，所述設置有上誘導板以及下誘導板的空腔腔壁部分與空腔腔壁的其余部分絕緣隔離。

5.如權利要求2所述的MEMS顯示器，其特征在于，所述上誘導板以及下誘導板位于空腔外部的層間介質層內，且通過層間介質層與空腔腔壁相間隔。

6.如權利要求1所述的MEMS顯示器，其特征在于，所述空腔腔壁的內表面涂覆有反射涂層。

7.如權利要求1所述的MEMS顯示器，其特征在于，所述彈性導光片的自由端寬度大于固定端寬度。

8.如權利要求7所述的MEMS顯示器，其特征在于，所述空腔的截面為矩形，且截面寬度沿彈性導光片的自由端向固定端方向逐漸遞減，保持空腔側壁與彈性導光片的間隙大小一致。

9.如權利要求1所述的MEMS顯示器，其特征在于，所述上空腔以及下空腔內填充有透光介質。

10.如權利要求1所述的MEMS顯示器，其特征在于，所述像素陣列區包括行光路切換開關、列光路切換開關以及控制上述光路切換開關的薄膜晶體管；所述入射光束先經由列光路切換開關路由，再經由行光路切換開關路由，從像素單元中出射。

11.如權利要求10所述的MEMS顯示器，其特征在于，所述光源類型為三色光源，包括RGB三原色光或CMY三原色光。

12.如權利要求11所述的MEMS顯示器，其特征在于，所述像素陣列區包括一條入射光路，所述三原色光從所述入射光路入射，并經由多級光路切換開關路由，從像素單元中出射。

13.如權利要求11所述的MEMS顯示器，其特征在于，所述像素陣列區包括第一子像素列、第二子像素列以及第三子像素列，上述三條子像素列在像素陣列區內呈周期性排列；所述各第一子像素列具有第一入射光路，所述各第二子像素列具有第二入射光路，所述各第三子像素列具有第三入射光路；所述三原色光分別從上述三條入射光路入射，并經由多級光路切換開關路由，從相應子像素列的像素單元中出射。

14.如權利要求10所述的MEMS顯示器，其特征在于，所述光源類型為3D偏振光，包括P偏振光以及S偏振光。

15.如權利要求14所述的MEMS顯示器，其特征在于，所述像素陣列區包括交替排列的第一偏振像素列、第二偏振像素列；所述各第一偏振像素列具有第一偏振入射光路，所述各第二偏振像素列具有第二偏振入射光路；所述P偏振光以及S偏振光分別對應從上述兩條偏振入射光路入射，并經由多級光路切換開關路由，從相應偏振像素列的像素單元中出射。

16.如權利要求10所述的MEMS顯示器，其特征在于，所述光源類型為白光。