[發明專利]紅外線傳感器及紅外線傳感器模塊

有效

• 申請號: 201010606259.2
• 申請日: 2010-12-24
• 公開（公告）號: CN102141444A
• 公開（公告）日: 2011-08-03
• 發明（設計）人: 大平真琴;相田富實二;小山雄高;佐佐木昌
• 申請（專利權）人: 歐姆龍株式會社
• 主分類號: G01J5/14
• 分類號: G01J5/14;G01J5/02
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種紅外線傳感器，其特征在于，具有：

第1基板，其具有被減壓密封的空腔部，并透射紅外線；

檢測部，其設置在該第1基板上的從外部入射紅外線一側的相反側，接收通過所述空腔部的紅外線而產生輸出變化；

第2基板，其具有凹部和反射面，并層疊在所述第1基板上，所述凹部與所述第1基板之間形成包圍所述檢測部的減壓空間，所述反射面構成為能夠將沒有被所述檢測部接收而通過所述第1基板的紅外線朝向所述檢測部反射并會聚；以及

運算電路，其設置在該第2基板上的隔著所述反射面與所述檢測部相對的位置上，對所述檢測部的輸出進行放大或積分。

2.根據權利要求1所述的紅外線傳感器，其特征在于，

所述空腔部形成為在層疊了所述第2基板一側的面上開口的空腔部，

所述空腔部和所述減壓空間是通過在減壓環境下對所述第1基板和所述第2基板進行層疊粘接而減壓密封的。

3.根據權利要求1或2所述的紅外線傳感器，其特征在于，所述紅外線檢測部和所述運算電路通過在層疊方向上貫通所述第2基板的布線而被連接。

4.根據權利要求3所述的紅外線傳感器，其特征在于，至少具有兩個所述布線。

5.根據權利要求1至4中的任意一項所述的紅外線傳感器，其特征在于，

具有多個所述檢測部，并且

與多個所述檢測部對應地具有多個所述運算電路。

6.根據權利要求1至5中的任意一項所述的紅外線傳感器，其特征在于，所述運算電路形成在所述第2基板上的層疊了所述第1基板的面的相反側的面上。

7.根據權利要求1至5中的任意一項所述的紅外線傳感器，其特征在于，

具有第3基板，所述第3基板相對于所述第2基板層疊在所述第1基板的相反側上，

所述運算電路形成在所述第3基板上。

8.一種紅外線傳感器模塊，其特征在于，具有：

如權利要求1～7中的任一項所述的紅外線傳感器；以及

收納有該紅外線傳感器的殼體。