[發明專利]貼膜方法及貼膜設備

有效

• 申請號: 201010604002.3
• 申請日: 2010-12-21
• 公開（公告）號: CN102173316A
• 公開（公告）日: 2011-09-07
• 發明（設計）人: 張明星
• 申請（專利權）人: 上海技美電子科技有限公司
• 主分類號: B65B33/02
• 分類號: B65B33/02;H01L21/00
• 代理公司: 上海脫穎律師事務所 31259
• 代理人: 李強

1.貼膜方法，其特征在于，利用滾壓膠膜的滾輪驅動膠膜卷轉動。

2.根據權利要求1所述的貼膜方法，其特征在于，利用可轉動的滾輪壓靠在膠膜上移動，滾壓覆蓋在晶圓表面的膠膜使其緊密貼附在晶圓上；滾輪壓靠在膠膜上移動時，受摩擦力作用而轉動；滾輪與膠膜卷同步移動且持續接觸，滾輪驅動膠膜卷轉動；膠膜卷在轉動同時在晶圓上方移動，膠膜卷轉動時不斷放出膠膜，膠膜卷移動使放出的膠膜覆蓋在晶圓上。

3.貼膜設備，其特征在于，包括支架板和第一驅動裝置；支架板上安裝有可轉動的滾輪和用于放置膠膜卷的支撐軸；第一驅動裝置驅動支架板移動。

4.根據權利要求3所述的貼膜設備，其特征在于，支架板上安裝有制動裝置，制動裝置用于阻止滾輪轉動。

5.根據權利要求4所述的貼膜設備，其特征在于，所述制動裝置為氣缸，氣缸設置有可伸出或縮回的輸出桿，滾輪位于輸出桿的移動方向上；輸出桿伸長時可與滾輪接觸，阻止滾輪轉動。

6.根據權利要求3所述的貼膜設備，其特征在于，還包括夾膜裝置，所述夾膜裝置可移動地安裝在支架板上，夾膜裝置可與滾輪相配合夾持住膠膜。

7.根據權利要求6所述的貼膜設備，其特征在于，所述夾膜裝置為弧形板，弧形板通過第二驅動裝置驅動移動，滾輪位于弧形板的移動路線上。

8.根據權利要求7所述的貼膜設備，其特征在于，所述的第二驅動裝置為氣缸，弧形板與氣缸的輸出桿連接。

9.根據權利要求3所述的貼膜設備，其特征在于，所述支架板上還安裝有收膜軸，所述收膜軸通過第二轉動裝置與滾輪連接，滾輪轉動可驅動收膜軸轉動。

10.根據權利要求3所述的貼膜設備，其特征在于，所述的支架板數目為兩個，平行設置；兩個支架板上均設置有導向槽，支撐軸可沿導向槽移動。

11.根據權利要求3所述的貼膜設備，其特征在于，所述驅動裝置為電機；電機通過第一傳動裝置與支架板連接。

12.根據權利要求11所述的貼膜設備，其特征在于，所述第一傳動裝置為絲桿，支架板與絲杠螺紋配合。

13.根據權利要求12所述的貼膜設備，其特征在于，還包括底座板，電機安裝于底座板下表面上，支架板上設置有螺母，螺母與絲桿螺紋配合。

14.根據權利要求11、12或13所述的貼膜設備，其特征在于，所述的底座板上表面設置有導軌，支架板上設置有滑塊與導軌相配合。