[發(fā)明專利]一種基于玻璃微管的單納米孔傳感器及其制造方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010603933.1 | 申請日： | 2010-12-22 |
| 公開（公告）號： | CN102175738A | 公開（公告）日： | 2011-09-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張磊;沙菁*;陳云飛;倪中華 | 申請（專利權(quán)）人： | 東南大學(xué) |
| 主分類號： | G01N27/403 | 分類號： | G01N27/403;B82Y15/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 南京天翼專利代理有限責(zé)任公司 32112 | 代理人： | 湯志武;王鵬翔 |
| 地址： | 210096*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 基于 玻璃 微管 納米 傳感器 及其 制造 方法 | ||
1.一種基于玻璃微管的單納米孔傳感器，其特征在于，包括
玻璃微管(1)，其包括位于一端的突起(5)；
單納米孔(3)，設(shè)置在所述突起(5)中；
兩流體室，分別設(shè)置在所述單納米孔(3)的兩端，且兩流體室通過單納米孔(3)相連接；
用于給兩流體室施加電壓的第一電壓源；
兩Pt電極(4)，設(shè)置在所述突起(5)上且位于所述單納米孔(3)的上、下側(cè)；
用于檢測兩Pt電極(4)之間電流的電流表(7)，電流表(7)的兩端分別與兩Pt電極(4)相連接；和
用于給兩Pt電極(4)施加電壓的第二電壓源；
所述單納米孔(3)和流體室中均設(shè)有電解液。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于玻璃微管的單納米孔傳感器，其特征在于，所述單納米孔(3)的直徑為1～100nm。
3.權(quán)利要求1或2所述的基于玻璃微管的單納米孔傳感器的制造方法，包括以下幾個步驟：
(a)在玻璃微管(1)內(nèi)密封固態(tài)石蠟(2)，然后對玻璃微管(1)進行局部加熱，使玻璃微管(1)熔封、拉斷，熔封的玻璃微管(1)內(nèi)部形成一個錐形的納米通道(6)；
(b)用丙酮去除玻璃微管(1)中的石蠟(2)，并用砂輪磨削位于突起(5)處的納米通道(6)，突起(5)中得到一個單納米孔(3)，在單納米孔(3)的兩端分別連接一個流體室，在單納米孔(3)和兩流體室中均裝電解液；
(c)采用原子層沉積的方法，在突起(5)上且位于單納米孔(3)的上、下側(cè)形成兩個Pt電極(4)，用電流表(7)檢測兩Pt電極(4)之間的電流，電流表(7)的兩端分別與兩Pt電極(4)相連接；
(d)在兩流體室之間加第一電壓源，在兩Pt電極(4)之間加第二電壓源。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于東南大學(xué)，未經(jīng)東南大學(xué)許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201010603933.1/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
