[發明專利]一種基于玻璃微管的單納米孔傳感器及其制造方法

無效

• 申請號: 201010603924.2
• 申請日: 2010-12-22
• 公開（公告）號: CN102169106A
• 公開（公告）日: 2011-08-31
• 發明（設計）人: 沙菁*;陳云飛;張磊;倪中華;易紅
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01N27/49
• 分類號: G01N27/49
• 代理公司: 南京天翼專利代理有限責任公司 32112
• 代理人: 湯志武;王鵬翔

1.一種基于玻璃微管的單納米孔傳感器，其特征在于，包括

玻璃微管(1)，其兩端是呈錐形的流體室(2)，中部是單納米孔(3)；

用于檢測所述單納米孔(3)內離子電流的電流表(10)，其兩端分別與兩流體室(2)相連接；

用于給兩流體室(2)施加電壓的電壓源；和

用于檢測所述單納米孔(3)內離子電流變化的感應裝置，所述感應裝置包括懸臂梁(5)、設置在懸臂梁(5)一端的連桿(7)和安裝在懸臂梁(5)另一端的彈簧(6)，所述連桿(7)的另一端安裝一磁化小球(8)，所述磁化小球(8)位于單納米孔(3)的上方，所述彈簧(6)的另一端設置一壓電陶瓷(9)；

所述單納米孔(3)和兩流體室(2)中均設有電解液。

2.根據權利要求1所述的基于玻璃微管的單納米孔傳感器，其特征在于，所述單納米孔(3)的直徑為1～100nm。

3.權利要求1或2所述的基于玻璃微管的單納米孔傳感器的制造方法，包括以下幾個步驟：

(a)在玻璃微管(1)內密封固態石蠟，然后對玻璃微管(1)進行局部加熱，使玻璃微管(1)熔封，熔封的玻璃微管(1)內部形成一個沙漏形的納米通道；

(b)用丙酮去除納米通道中的石蠟，并用砂輪磨削位于中部的納米通道，得到一個單納米孔(3)，將位于單納米孔(3)兩端的納米通道作為兩流體室(2)，在單納米孔(3)和兩流體室(2)中裝電解液；

(c)在兩流體室(2)之間加電壓源，將一電流表(10)的兩端分別與兩流體室(2)相連接；

(d)在單納米孔(3)的外側安裝一懸臂梁(5)，在懸臂梁(5)的一端安裝一連桿(7)，在懸臂梁(5)的另一端安裝一彈簧(6)，在連桿(7)的另一端安裝一位于單納米孔(3)上方的磁化小球(8)，在彈簧(6)的另一端連接一壓電陶瓷(9)。