[發(fā)明專利]光伏電池的制造方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010602785.1
• 申請(qǐng)日: 2010-12-21
• 公開（公告）號(hào): CN102347395A
• 公開（公告）日: 2012-02-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 涂志強(qiáng);陳俊郎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18;H01L31/20;G03F7/00
• 代理公司: 隆天國(guó)際知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 姜燕;陳晨

1.一種光伏電池的制造方法，包括：

提供一光伏電池基板；

進(jìn)行一納米壓印微影工藝，以露出該光伏電池基板的部分表面，以及

進(jìn)行一蝕刻工藝于該光伏電池基板露出的部分表面上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光伏電池的制造方法，其中進(jìn)行該納米壓印微影工藝的步驟包括：

形成一掩模層于該光伏電池基板上；

提供一模具，該模具具有一預(yù)定圖案；以及

將該模具的該預(yù)定圖案轉(zhuǎn)移至該掩模層，并形成一開口于該掩模層中以露出部分該光伏電池基板。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光伏電池的制造方法，其中該蝕刻步驟包括一濕蝕刻工藝及/或一干蝕刻工藝。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光伏電池的制造方法，其中該織構(gòu)步驟不包括一光微影工藝。

5.一種光伏電池的制造方法，包括：

提供一光伏電池基板；

形成一掩模層于該光伏電池基板上；

以一模具施壓至該掩模層中，以形成一圖案化掩模層，其中該模具具有一設(shè)計(jì)圖案結(jié)構(gòu)，且該圖案化掩模層具有一厚度對(duì)比；

自該圖案化掩模層移開該模具；以及

以該圖案化掩模層作掩模，蝕刻該光伏電池基板以形成一織構(gòu)化表面于該光伏電池基板中。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光伏電池的制造方法，其中該設(shè)計(jì)圖案結(jié)構(gòu)包括一光柵結(jié)構(gòu)，且該光伏電池基板中的該織構(gòu)化表面包括一光柵結(jié)構(gòu)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光伏電池的制造方法，其中該設(shè)計(jì)圖案結(jié)構(gòu)包括一周期性結(jié)構(gòu)，且該周期性結(jié)構(gòu)是一周期性柱狀結(jié)構(gòu)、一周期性間隙結(jié)構(gòu)、或一周期性柱狀與間隙結(jié)構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光伏電池的制造方法，其中蝕刻該光伏電池基板的步驟包括一濕蝕刻工藝及/或一干蝕刻工藝。

9.一種光伏電池的制造方法，包括：

提供一太陽(yáng)能電池基板；

形成一掩模層于該太陽(yáng)能電池基板上；

提供一模具，該模具具有一預(yù)定圖案結(jié)構(gòu)；

以該模具的該預(yù)定圖案結(jié)構(gòu)壓印該掩模層；

將該預(yù)定圖案結(jié)構(gòu)自該掩模層轉(zhuǎn)移至該太陽(yáng)能電池基板，以形成多個(gè)溝槽于該太陽(yáng)能電池基板中；以及

之后自該太陽(yáng)能電池基板上移除該掩模層。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光伏電池的制造方法，其中該預(yù)定圖案結(jié)構(gòu)包括多個(gè)孔洞的預(yù)定分布。