[發明專利]步進電機的控制方法和裝置、匹配器及等離子體加工設備

有效

• 申請號: 201010600930.2
• 申請日: 2010-12-13
• 公開（公告）號: CN102545750A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 葉華;宗令蓓;王一帆
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: H02P8/14
• 分類號: H02P8/14;H02P8/36;H01J37/32
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 張天舒;陳源

1.一種步進電機的控制方法，其特征在于，包括：

獲取步進電機的當前控制周期的算法旋轉方向；

獲取預設控制周期維數和基于該預設控制周期維數的歷史控制周期的算法旋轉方向；

并根據所述當前控制周期的算法旋轉方向、歷史控制周期的算法旋轉方向以及預設控制周期維數，獲取所述步進電機的實際旋轉方向，并以該實際旋轉方向控制所述步進電機進行旋轉。

2.根據權利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述獲取步進電機的實際旋轉方向包括：

統計對應于所述預設控制周期維數的正旋轉次數和反旋轉次數；

獲取所述正旋轉次數與所述反旋轉次數的差值；

分析所述差值，若該差值不小于零，則判斷該差值是否大于零，若是，則生成控制所述步進電機進行正轉的信號，若否，則判斷該差值是否等于零或者當前控制周期的算法旋轉方向是否為空，且若該差值等于零或者當前控制周期的算法旋轉方向為空，則生成控制所述步進電機停止旋轉的信號；若該差值小于零，則生成控制所述步進電機進行反轉的信號。

3.根據權利要求2所述的控制方法，其特征在于，所述統計對應于所述預設控制周期維數的正旋轉次數和反旋轉次數，包括：

獲取所述歷史控制周期的算法旋轉方向中的正旋轉次數和反旋轉次數；

確定所述當前控制周期的算法旋轉方向為正旋轉方向，則使正旋轉次數加一，以對應于所述預設控制周期維數的正旋轉次數；或者，確定所述當前控制周期的算法旋轉方向為反旋轉方向，則使反旋轉次數加一，以對應于所述預設控制周期維數的反旋轉次數。

4.根據權利要求2或3所述的控制方法，其特征在于，還包括；

控制所述步進電機以[n/2]×V_b的轉速進行旋轉，其中，n表示預設控制周期維數，且n≥2；V_b表示所述電機的基準速度；[n/2]為向下取整的整數。

5.根據權利要求4所述的控制方法，其特征在于，還包括；

控制所述步進電機進入第|[2c-n]/2|個檔位，其中，c表示對應于所述預設控制周期維數的正旋轉次數，(c-n)表示對應于所述預設控制周期維數的反旋轉次數；且可分別控制所述步進電機進入0～[n/2]+1個檔位。

6.一種步進電機的控制裝置，其特征在于，包括：

第一獲取模塊，用于獲取步進電機的當前控制周期的算法旋轉方向；

第二獲取模塊，用于獲取預設控制周期維數和基于該預設控制周期維數的歷史控制周期的算法旋轉方向；

第三獲取模塊，并根據所述當前控制周期的算法旋轉方向、歷史控制周期的算法旋轉方向以及預設控制周期維數，獲取所述步進電機的實際旋轉方向；

第一控制模塊，用于所述該實際旋轉方向控制所述步進電機進行旋轉。

7.根據權利要求6所述的控制裝置，其特征在于，所述第三獲取模塊包括：

統計單元，用于統計對應于所述預設控制周期維數的正旋轉次數和反旋轉次數；

獲取單元，用于獲取所述正旋轉次數與所述反旋轉次數的差值；

分析生成單元，用于分析所述差值，若該差值不小于零，則判斷該差值是否大于零，若是，則生成控制所述步進電機進行正轉的信號，若否，則判斷該差值是否等于零或者當前控制周期的算法旋轉方向是否為空，且若該差值等于零或者當前控制周期的算法旋轉方向為空，則生成控制所述步進電機停止旋轉的信號；若該差值小于零，則生成控制所述步進電機進行反轉的信號。

8.根據權利要求7所述的控制裝置，其特征在于，所述統計單元包括：

獲取子單元，用于獲取所述歷史控制周期的算法旋轉方向中的正旋轉次數和反旋轉次數；

加一子單元，用于確定所述當前控制周期的算法旋轉方向為正旋轉方向，則使正旋轉次數加一，以對應于所述預設控制周期維數的正旋轉次數；或者，確定所述當前控制周期的算法旋轉方向為反旋轉方向，則使反旋轉次數加一，以對應于所述預設控制周期維數的反旋轉次數。

9.根據權利要求7或8所述的控制裝置，其特征在于，還包括；

第二控制模塊，用于控制所述步進電機以[n/2]×V_b的轉速進行旋轉，其中，n表示預設控制周期維數，且n≥2；V_b表示所述電機的基準速度；[n/2]為向下取整的整數。