[發(fā)明專利]測量系統(tǒng)、光刻設(shè)備和測量方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010600440.2
• 申請日: 2008-03-26
• 公開（公告）號(hào): CN102096332A
• 公開（公告）日: 2011-06-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬克·威廉姆斯·瑪麗亞·范德威吉斯特;恩格爾伯塔斯·安東尼納斯·弗朗西絲克斯·范德帕斯奇;克恩·雅克布斯·約翰尼斯·瑪麗亞·扎安爾
• 申請（專利權(quán)）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;G01D5/38
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 王波波

1.一種編碼器類型的測量系統(tǒng)，所述測量系統(tǒng)被配置用于測量可移動(dòng)對象的位置依賴信號(hào)，所述測量系統(tǒng)包括：

至少一個(gè)傳感器，可安裝在靜止的框架上；

傳感器目標(biāo)對象，可安裝在可移動(dòng)對象上；

撓性安裝裝置，所述撓性安裝裝置被配置用于將所述傳感器目標(biāo)對象安裝到所述可移動(dòng)對象上；以及

補(bǔ)償裝置，所述補(bǔ)償裝置被配置用于至少部分地補(bǔ)償所述傳感器目標(biāo)對象相對于所述可移動(dòng)對象的運(yùn)動(dòng)、或變形、或運(yùn)動(dòng)和變形。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量系統(tǒng)，其中所述補(bǔ)償裝置包括阻尼裝置，所述阻尼裝置被配置用于衰減所述傳感器目標(biāo)對象的運(yùn)動(dòng)、或者變形、或者運(yùn)動(dòng)和變形。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測量系統(tǒng)，其中所述阻尼裝置是無源阻尼裝置或有源阻尼裝置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量系統(tǒng)，其中所述補(bǔ)償裝置包括反饋位置控制系統(tǒng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量系統(tǒng)，其中所述補(bǔ)償裝置包括：

阻尼裝置，所述阻尼裝置被配置用于在所述傳感器目標(biāo)對象的諧振頻率范圍內(nèi)進(jìn)行補(bǔ)償；和

位置控制系統(tǒng)，所述位置控制系統(tǒng)被配置用于在低于所述諧振頻率范圍的頻率范圍內(nèi)進(jìn)行補(bǔ)償。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量系統(tǒng)，其中所述補(bǔ)償裝置包括固定裝置，所述固定裝置被配置用于在所述可移動(dòng)對象的高精度運(yùn)動(dòng)過程中固定所述傳感器目標(biāo)對象，以便以至少一個(gè)自由度相對于所述可移動(dòng)對象固定所述傳感器目標(biāo)對象。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的測量系統(tǒng)，其中所述固定裝置能夠以六個(gè)自由度固定所述傳感器目標(biāo)對象。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量系統(tǒng)，其中所述安裝裝置包括：

多個(gè)撓性元件，配置成將所述傳感器目標(biāo)對象耦合至所述可移動(dòng)對象，至少一個(gè)所述撓性元件在至少一個(gè)自由度上是撓性的。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量系統(tǒng)，其中所述傳感器目標(biāo)對象包括光柵或柵格。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量系統(tǒng)，其中所述可移動(dòng)對象是光刻設(shè)備的襯底臺(tái)或掩模版臺(tái)。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量系統(tǒng)，其中所述位置依賴信號(hào)是所述可移動(dòng)對象的位置、速度或加速度信號(hào)。

12.一種光刻設(shè)備，所述光刻設(shè)備包括：

圖案形成裝置支撐件，構(gòu)造用于支撐圖案形成裝置，所述圖案形成裝置能夠?qū)D案在輻射束的橫截面上賦予輻射束，以形成圖案化的輻射束；

襯底支撐件，構(gòu)造用于保持襯底；以及

投影系統(tǒng)，配置用于將所述圖案化的輻射束投影到襯底的目標(biāo)部分上；以及

測量系統(tǒng)，所述測量系統(tǒng)用于測量所述支撐件中的一個(gè)支撐件相對于靜止的框架的位置依賴信號(hào)，所述測量系統(tǒng)包括：

至少一個(gè)傳感器，可安裝在靜止的框架上；

傳感器目標(biāo)對象，可安裝在所述支撐件中的一個(gè)支撐件上；

撓性安裝裝置，所述撓性安裝裝置配置用于將所述傳感器目標(biāo)對象安裝到所述支撐件中的一個(gè)支撐件上；以及

補(bǔ)償裝置，所述補(bǔ)償裝置配置用于至少部分地補(bǔ)償所述傳感器目標(biāo)對象相對于所述支撐件中的一個(gè)支撐件的運(yùn)動(dòng)、或者變形、或所述運(yùn)動(dòng)和變形。

13.一種編碼器類型的測量系統(tǒng)，配置用于測量可移動(dòng)對象的位置依賴信號(hào)，所述測量系統(tǒng)包括：

至少一個(gè)傳感器，可安裝在靜止的框架上；

傳感器目標(biāo)對象，可安裝在所述可移動(dòng)對象上；

撓性安裝裝置，所述撓性安裝裝置被配置用于將所述至少一個(gè)傳感器安裝到所述靜止的框架上；以及

補(bǔ)償裝置，所述補(bǔ)償裝置被配置用于至少部分地補(bǔ)償所述至少一個(gè)傳感器相對于所述靜止的框架的運(yùn)動(dòng)、或變形、或運(yùn)動(dòng)和變形。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的測量系統(tǒng)，其中所述補(bǔ)償裝置包括：

阻尼裝置，配置用于衰減所述至少一個(gè)傳感器的運(yùn)動(dòng)、或者變形、或者運(yùn)動(dòng)和變形。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的測量系統(tǒng)，其中所述阻尼裝置是無源阻尼裝置或有源阻尼裝置。

16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的測量系統(tǒng)，其中所述補(bǔ)償裝置包括反饋位置控制系統(tǒng)。