[發(fā)明專利]探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010600397.X
• 申請(qǐng)日: 2010-12-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102135768A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-07-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 凌儉波;祁建華;陳燕;方華;葉建明;沈懿樺;周建青;張春余
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華嶺集成電路技術(shù)股份有限公司
• 主分類號(hào): G05B19/418
• 分類號(hào): G05B19/418;G01R1/073
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)。

背景技術(shù)

探針臺(tái)是用在半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)A上的器件進(jìn)行特性或故障分析而使用的精密機(jī)臺(tái)。對(duì)晶圓的測(cè)試過(guò)程由測(cè)試機(jī)、探針臺(tái)等實(shí)現(xiàn)，通過(guò)探針臺(tái)上的探針卡實(shí)現(xiàn)芯片上每個(gè)接腳與測(cè)試機(jī)的穩(wěn)定連接，由測(cè)試機(jī)判定晶圓上芯片的特性。

探針臺(tái)種類繁多，從操作上可分為手動(dòng)、半自動(dòng)以及全自動(dòng)探針臺(tái)；從功能上可分為高溫探針臺(tái)，低溫探針臺(tái)，RF探針臺(tái)，LCD平板探針臺(tái)，霍爾效應(yīng)探針臺(tái)，表面電阻率探針臺(tái)等。

通常，在半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域，一個(gè)實(shí)驗(yàn)室或者企業(yè)需要配備多臺(tái)或多個(gè)種類的探針臺(tái)，以滿足不同產(chǎn)品的測(cè)試需求。為了提高測(cè)試效率，往往希望對(duì)這些探針臺(tái)的使用狀態(tài)進(jìn)行監(jiān)控，然而，目前的監(jiān)控方式為人工方式，即配備專門的工作人員，不斷地到各個(gè)探針臺(tái)前巡視，這不僅浪費(fèi)人力，而且會(huì)影響操作人員的工作，監(jiān)控效果也不理想。即使，有些探針臺(tái)制造廠商為其探針臺(tái)配備了監(jiān)控系統(tǒng)，可是，其成本較高，需要另外購(gòu)買，而且對(duì)于其他廠商的探針臺(tái)無(wú)法實(shí)現(xiàn)兼容，對(duì)于整個(gè)監(jiān)控系統(tǒng)的擴(kuò)展十分不利。為此，如何提供一種有效的探針臺(tái)實(shí)時(shí)監(jiān)控方法實(shí)為本領(lǐng)域一重要課題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有探針臺(tái)監(jiān)控效率低下等技術(shù)問(wèn)題。

為解決以上技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)，用以監(jiān)控多個(gè)探針臺(tái)的工作狀態(tài)，其包括服務(wù)端以及多個(gè)分別與所述多個(gè)探針臺(tái)連接的監(jiān)控單元，所述服務(wù)端通過(guò)所述監(jiān)控單元獲得探針臺(tái)的工作狀態(tài)，其中所述監(jiān)控單元包括：多個(gè)比較器，連接對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)，以分別接收其所連接的探針臺(tái)的多種工作狀態(tài)信號(hào)，并將所接收的信號(hào)轉(zhuǎn)換為統(tǒng)一的電平信號(hào)；存儲(chǔ)器，存儲(chǔ)對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)的信息；通訊接口，連接所述服務(wù)端；微處理器，分別與所述多個(gè)比較器、存儲(chǔ)器和通訊接口連接，將所述統(tǒng)一的電平信號(hào)與對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)信息轉(zhuǎn)換為所述通訊接口對(duì)應(yīng)的通訊協(xié)議信號(hào)，以通過(guò)所述通訊接口將該通訊協(xié)議信號(hào)傳輸給服務(wù)端。

進(jìn)一步的，所述服務(wù)端包括：集線器，連接所述多個(gè)監(jiān)控單元，以接收所述通訊協(xié)議信號(hào)，并將其轉(zhuǎn)換為工作機(jī)可以識(shí)別的信號(hào)；工作機(jī)，連接所述集線器，以從集線器轉(zhuǎn)換的信號(hào)中獲得對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)信息及其工作狀態(tài)。

進(jìn)一步的，所述服務(wù)端與所述監(jiān)控單元之間的信息交換方式為主動(dòng)詢問(wèn)方式，即：服務(wù)端向監(jiān)控單元發(fā)送詢問(wèn)信號(hào)，其中所述詢問(wèn)信號(hào)內(nèi)包括一探針臺(tái)的地址信息；對(duì)應(yīng)于所述詢問(wèn)信號(hào)內(nèi)的探針臺(tái)的地址信息的監(jiān)控單元將其獲得的探針臺(tái)工作狀態(tài)信號(hào)轉(zhuǎn)換為通訊協(xié)議信號(hào)傳輸給服務(wù)端。

進(jìn)一步的，所述探針臺(tái)的多種工作狀態(tài)信號(hào)是通過(guò)其狀態(tài)指示燈接口引出，即所述多個(gè)比較器，分別連接對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)的多個(gè)狀態(tài)指示燈接口。

進(jìn)一步的，所述探針臺(tái)的狀態(tài)指示燈包括紅燈、綠燈與黃燈。

進(jìn)一步的，所述服務(wù)端包括顯示裝置與轉(zhuǎn)換程序，所述轉(zhuǎn)換程序運(yùn)行將所接收到的探針臺(tái)工作狀態(tài)信號(hào)轉(zhuǎn)換為對(duì)應(yīng)的指示燈顏色，并根據(jù)對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)信息，于顯示裝置上圖形化顯示各個(gè)探針臺(tái)的工作狀態(tài)。

進(jìn)一步的，所述服務(wù)端與監(jiān)控單元之間的連接方式為有線連接。

進(jìn)一步的，所述服務(wù)端與監(jiān)控單元之間的連接方式為雙絞線。

可見(jiàn)，以上探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)利用探針臺(tái)引出的多路接口信號(hào)來(lái)于遠(yuǎn)端統(tǒng)一監(jiān)控多個(gè)探針臺(tái)的工作狀態(tài)，具體，其將引出的信號(hào)轉(zhuǎn)換為遠(yuǎn)端的服務(wù)端(例如，為計(jì)算機(jī))可以識(shí)別及處理的信號(hào)，并將該信號(hào)傳送給服務(wù)端，以在服務(wù)端集中監(jiān)控所有探針臺(tái)的工作狀態(tài)，從而提高探針臺(tái)工作狀態(tài)的監(jiān)控效率。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明一實(shí)施列所提供的探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)框圖；

圖2為本發(fā)明一實(shí)施列所提供的探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)的服務(wù)端所顯示的信息狀態(tài)；

圖3為本發(fā)明一實(shí)施列所提供實(shí)時(shí)監(jiān)控探針測(cè)試?yán)寐实姆椒ǖ牧鞒淌疽鈭D。

具體實(shí)施方式

為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉示例性實(shí)施例，并配合附圖，作詳細(xì)說(shuō)明如下。

通常，在半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域，一個(gè)實(shí)驗(yàn)室或者企業(yè)需要配備多臺(tái)或多個(gè)種類的探針臺(tái)，以滿足不同產(chǎn)品的測(cè)試需求。然而，現(xiàn)有技術(shù)中卻缺乏對(duì)這些探針臺(tái)利用率的有效監(jiān)控，無(wú)法及時(shí)了解哪些探針臺(tái)處于使用狀態(tài)，哪些探針臺(tái)處于閑置狀態(tài)，對(duì)于出現(xiàn)故障的探針臺(tái)難以及時(shí)發(fā)現(xiàn)，使得整個(gè)實(shí)驗(yàn)室的探針臺(tái)利用率無(wú)法達(dá)到最佳狀態(tài)，進(jìn)而使得測(cè)試效率下降。