[發明專利]一種利用莫爾條紋調整全息光柵曝光光路中準直光的方法

無效

• 申請號: 201010599714.0
• 申請日: 2011-03-25
• 公開（公告）號: CN102103269A
• 公開（公告）日: 2011-06-22
• 發明（設計）人: 孔鵬;李文昊;巴音賀希格;唐玉國;齊向東
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G02B27/30
• 分類號: G02B27/30;G02B27/60;G03F7/20
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 劉樹清

1.一種利用莫爾條紋調整全息光柵曝光光路中準直光的方法，其特征在于：步驟一，配備一套激光擴束準直裝置，包括光源激光器(1)、第一平面反射鏡(2)、第二平面反射鏡(3)、空間濾波器(4)、準直鏡(5)；光源激光器(1)發出的激光束經第一平面反射鏡(2)和第二平面反射鏡(3)反射到達空間濾波器(4)，激光束經過空間濾波器(4)后成為發散的球面光波，球面光波的中心光線與準直鏡(5)的光軸重合，球面光波經準直鏡(5)透射成為準直光束；步驟二，將第三平面反射鏡(6)和平面光柵(7)置入激光擴束準直裝置中的準直光束區域內，使第三平面反射鏡(6)和平面光柵(7)垂直從而組成洛艾鏡干涉裝置，使準直光束的一部分直接照射在平面光柵(7)上，準直光束的另一部分經第三平面反射鏡(6)反射后照射在平面光柵(7)上，準直光束的兩部分相交疊的空間區域形成干涉場(8)；步驟三，使由第三平面反射鏡(6)和平面光柵(7)組成的洛艾鏡干涉裝置在水平面內旋轉，通過改變第三平面反射鏡(6)與準直光束的夾角θ從而改變干涉條紋周期，根據莫爾條紋的形成原理，當干涉條紋的周期與平面光柵(7)的光柵常數相等時就能夠在平面光柵(7)表面觀察到莫爾條紋，若此時莫爾條紋不是直線形條紋則說明準直光束的準直度不好；步驟四，調整準直鏡(5)與空間濾波器(4)之間的距離，同時觀察平面光柵(7)表面的莫爾條紋的變化，當莫爾條紋變為直線形條紋時則說明此時干涉條紋的線性度很好，即準直光束的波前為平面波前，至此全息光柵曝光光路中所使用的準直光束的準直度調整完畢。