[發(fā)明專利]納米貴金屬顆粒改性二氧化錫氣敏材料的制備方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010597082.4
• 申請(qǐng)日: 2010-12-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102041474A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳敬超;周曉龍;于杰;杜焰;馮晶;阮進(jìn)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昆明理工大學(xué)
• 主分類號(hào): C23C14/06
• 分類號(hào): C23C14/06
• 代理公司: 昆明今威專利代理有限公司 53115
• 代理人: 賽曉剛

1.一種納米貴金屬顆粒改性二氧化錫氣敏材料的制備方法，其特征在于：以貴金屬粉、錫粉或貴金屬與錫的合金粉末為原料，添加少量的其它元素為性能調(diào)整元素，原料經(jīng)配料后在混料機(jī)中混合均勻；經(jīng)過(guò)低溫高能球磨機(jī)械合金化；將制備的復(fù)合粉體制成素坯，放入反應(yīng)合成燒結(jié)爐內(nèi)進(jìn)行反應(yīng)合成；隨后濺射或沉積，制得的膜厚度為2-50微米。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米貴金屬顆粒改性二氧化錫氣敏材料的制備方法，其特征在于所述的貴金屬粉為Ag，Au，Pt，Ru，Rh，Pd，Ir，Re中的兩種或兩種以上的混合物。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米貴金屬顆粒改性二氧化錫氣敏材料的制備方法，其特征在于所述的其它元素為V，Mn，Co，Ni，Zn，Nb，Mo，Al，Ce，La，In，Sb中的一種或幾種，粉末粒度小于100微米，貴金屬與錫的質(zhì)量分?jǐn)?shù)比控制在2-10％。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米貴金屬顆粒改性二氧化錫氣敏材料的制備方法，其特征在于所述的低溫高能球磨機(jī)械合金化，磨球和磨罐采用剛玉或瑪瑙材料制備，球磨氣氛采用氬氣保護(hù)，轉(zhuǎn)速800-1500rad/min，球磨時(shí)間8-100小時(shí)，根據(jù)貴金屬的含量調(diào)整球磨溫度，溫度范圍：100-270K。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米貴金屬顆粒改性二氧化錫氣敏材料的制備方法，其特征在于所述的進(jìn)行反應(yīng)合成的反應(yīng)合成燒結(jié)溫度1000-1750℃，時(shí)間2-8小時(shí)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米貴金屬顆粒改性二氧化錫氣敏材料的制備方法，其特征在于所述的濺射或沉積是指：采用玻璃襯底，抽真空，真空度約為10^-5-10^-2Pa，濺射或沉積速率為10^-2g/s，時(shí)間約為30-200分鐘。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米貴金屬顆粒改性二氧化錫氣敏材料的制備方法，其特征在于所述的在混料機(jī)中的混料時(shí)間為1-3小時(shí)。