[發(fā)明專利]反應(yīng)腔的輸氣管道系統(tǒng)及其控制方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010594837.5
• 申請日: 2010-12-17
• 公開（公告）號: CN102568991A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 聶佳相;孔祥濤;何偉業(yè);陳碧欽
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種反應(yīng)腔的輸氣管道系統(tǒng)，包括粗泵，經(jīng)由蝶形閥與反應(yīng)腔連接，用于對反應(yīng)腔抽氣；其特征在于，還包括：渦輪通氣泵，所述渦輪通氣泵與反應(yīng)腔連接，用于對反應(yīng)腔通氣，其氣冷單元與所述粗泵連通；閥門控制單元，所述閥門控制單元將氣冷單元內(nèi)的氣壓與反應(yīng)腔的氣壓相比較，當(dāng)所述氣冷單元內(nèi)的氣壓大于反應(yīng)腔的氣壓時，使得所述蝶形閥關(guān)閉。

2.如權(quán)利要求1所述的輸氣管道系統(tǒng)，其特征在于，還包括：真空吸盤泵，用于向機械傳送裝置提供吸附晶圓的負壓；所述渦輪通氣泵的氣冷單元還與所述真空吸盤泵連通。

3.如權(quán)利要求1所述的輸氣管道系統(tǒng)，其特征在于，所述氣冷單元的出氣口設(shè)置有電子氣壓計。

4.如權(quán)利要求3所述的輸氣管道系統(tǒng)，其特征在于，所述閥門控制單元與電子氣壓計電性連接，檢測氣冷單元內(nèi)的氣壓。

5.如權(quán)利要求1所述的輸氣管道系統(tǒng)，其特征在于，所述渦輪通氣泵經(jīng)由通氣閥與反應(yīng)腔連接。

6.如權(quán)利要求5所述的輸氣管道系統(tǒng)，其特征在于，所述閥門控制單元在蝶形閥開啟時，使得所述通氣閥關(guān)閉；而在通氣閥開啟時，使得蝶形閥關(guān)閉。

7.如權(quán)利要求1所述的輸氣管道系統(tǒng)，其特征在于，還包括與氣冷單元連接的供氣單元，用于提供冷卻氣體。

8.如權(quán)利要求7所述的輸氣管道系統(tǒng)，其特征在于，所述供氣單元包括液氮罐以及用于汽化液氮的汽化器。

9.如權(quán)利要求2所述的輸氣管道系統(tǒng)的控制方法，其中包括：

當(dāng)晶圓送入反應(yīng)腔中進行加工工藝時，

開啟粗泵，對渦輪通氣泵的氣冷單元抽氣；

所述閥門控制單元接收第一控制信號，將所述氣冷單元內(nèi)的氣壓與當(dāng)前反應(yīng)腔氣壓相比較，當(dāng)氣冷單元內(nèi)的氣壓小于反應(yīng)腔氣壓時，開啟蝶形閥，使得粗泵對反應(yīng)腔抽氣；

當(dāng)晶圓完成加工工藝時從反應(yīng)腔移除時，

所述閥門控制單元第二控制信號，關(guān)閉所述蝶形閥；

所述粗泵保持對渦輪通氣泵的氣冷單元抽氣；開啟渦輪通氣泵，對反應(yīng)腔通氣。

10.如權(quán)利要求9所述的控制方法，其中，所述渦輪通氣泵對反應(yīng)腔通氣，當(dāng)反應(yīng)腔氣壓與外界氣壓相平衡時，開啟真空吸盤泵，使得機械傳送裝置吸附晶圓，并分流渦輪通氣泵的氣冷單元中的冷卻氣體。