[發明專利]垂直磁記錄介質中間層用鎳基合金靶材及其制造方法

無效

• 申請號: 201010593582.0
• 申請日: 2010-12-09
• 公開（公告）號: CN102534308A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 丁照崇;朱曉光;蔣宇暉;劉書芹;董亭義;孫秀霖;白鴿玲;尚再艷
• 申請（專利權）人: 北京有色金屬研究總院;有研億金新材料股份有限公司
• 主分類號: C22C19/05
• 分類號: C22C19/05;C22C1/02;C22F1/10
• 代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100
• 代理人: 耿小強

1.一種垂直磁記錄介質中間層用鎳基合金靶材，其特征在于：所述鎳基合金靶材的合金成分質量百分比為：鎢15～35％，鉻5～15％，其余為鎳。

2.根據權利要求1所述的垂直磁記錄介質中間層用鎳基合金靶材，其特征在于：鎳基合金靶材純度為99.9％以上，氧含量200ppm以內。

3.根據權利要求1所述的垂直磁記錄介質中間層用鎳基合金靶材，其特征在于：鎳基合金靶材每個合金成分波動均在±0.5wt％以內。

4.根據權利要求1所述的垂直磁記錄介質中間層用鎳基合金靶材，其特征在于：鎳基合金靶材相對密度高于99.5％。

5.根據權利要求1所述的垂直磁記錄介質中間層用鎳基合金靶材，其特征在于：鎳基合金靶材微觀組織為細小均勻晶粒，平均晶粒尺寸控制在50μm以內。

6.根據權利要求1所述的垂直磁記錄介質中間層用鎳基合金靶材，其特征在于：鎢、鉻完全固溶于鎳內，形成單一的面心立方相。

7.一種垂直磁記錄介質中間層用鎳基合金靶材的制造方法，其步驟如下：

(1)按鎳基合金靶材合金成分含量配比Ni、W、Cr三種原料，所述鎳基合金靶材的合金成分質量百分比為：W?15～35％，Cr?5～15％，其余為Ni，Ni、W、Cr三種原料純度均為99.9％以上；

(2)將步驟(1)中所配比的三種原料放入坩堝中，進行真空感應熔煉并澆鑄成鑄錠；其中，熔煉溫度為1500℃～1700℃，熔煉時真空度高于5×10^-2Pa；

(3)將步驟(2)中所得鑄錠進行熱鍛開坯，熱鍛溫度1000～1200℃，得熱鍛坯；

(4)將步驟(3)中所得熱鍛坯在室溫下進行冷軋，道次變形量10～20％，總變形量40～70％；

(5)將步驟(4)中所得冷軋坯進行再結晶退火，再結晶退火溫度900～1200℃，退火時間2～8小時，退火爐氣氛為空氣或惰性氣體保護；

(7)將步驟(5)中所得靶坯進行機加工生產出成品靶材。