[發(fā)明專利]燒結(jié)釹鐵硼磁體表面磁控濺射鍍覆不銹鋼防護層的方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010592932.1
• 申請日: 2010-12-17
• 公開（公告）號: CN102002669A
• 公開（公告）日: 2011-04-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 袁慶龍;范廣新;張寶慶;李強;劉寶忠
• 申請（專利權(quán)）人: 河南理工大學
• 主分類號: C23C14/16
• 分類號: C23C14/16;C23C14/35
• 代理公司: 鄭州紅元帥專利代理事務(wù)所(普通合伙) 41117
• 代理人: 楊妙琴

1.一種燒結(jié)釹鐵硼磁體表面磁控濺射鍍覆不銹鋼防護層的方法，其特征在于：該方法包括以下步驟：?

?第一步、對釹鐵硼磁體表面進行拋光、除油處理，吹干后裝爐；

第二步、抽真空至5×10^-3-10^-1Pa，通氬氣至18～35Pa，接通直流電源甲，在釹鐵硼磁體與真空室殼體之間加上180～450伏負偏壓，?通過輝光離子轟擊對釹鐵硼磁體表面進行凈化、活化預(yù)處理，清除釹鐵硼磁體表面的油膜、氧化膜，轟擊時間5～12min?，然后關(guān)閉直流電源甲；

第三步、接通直流電源乙，在不銹鋼磁控濺射靶與真空室殼體之間加上350～550伏負偏壓，通過輝光離子轟擊不銹鋼磁控濺射靶，使靶材表面原子以一定能量逸出，然后沉積在釹鐵硼磁體表面上，形成均勻的鍍覆防護層，時間90～300min，由鍍層厚度而定；

第四步、關(guān)閉直流電源乙，在氬氣保護下降溫，出爐后進行拋光處理。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的燒結(jié)釹鐵硼磁體表面磁控濺射鍍覆不銹鋼防護層的方法，其特征在于：所述的步驟一中拋光處理是指，對釹鐵硼磁體表面待鍍部位先用1000～1200目砂布輪打磨再用棉布輪拋光，為隨后施鍍做準備，并為鍍覆完成后拋光做前期準備。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的燒結(jié)釹鐵硼磁體表面磁控濺射鍍覆不銹鋼防護層的方法，其特征在于：所述的步驟一中除油處理是指，用脫脂棉蘸上丙酮或酒精擦拭釹鐵硼磁體表面，用吹風機吹干。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的燒結(jié)釹鐵硼磁體表面磁控濺射鍍覆不銹鋼防護層的方法，其特征在于：所述的步驟二和三抽真空至0.005～0.5Pa，充氬后真空度18～35Pa，直流電源甲負偏壓180～450伏，轟擊時間5～12min，關(guān)閉直流電源甲后才開啟直流電源乙，直流電源乙負偏壓350～550伏，直流電源亦可一機兩用。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的燒結(jié)釹鐵硼磁體表面磁控濺射鍍覆不銹鋼防護層的方法，其特征在于：所述的步驟二和三的工藝參數(shù)：抽真空至0.01～0.1Pa，充氬后真空度22～30Pa，直流電源甲負偏壓250～380伏，轟擊時間6～10min，直流電源乙負偏壓380～480伏。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的燒結(jié)釹鐵硼磁體表面磁控濺射鍍覆不銹鋼防護層的方法，其特征在于：所述的不銹鋼靶材為鉻型不銹鋼或特殊不銹鋼。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的燒結(jié)釹鐵硼磁體表面磁控濺射鍍覆不銹鋼防護層的方法，其特征在于：所述的鍍覆防護層為鉻型不銹鋼或特殊不銹鋼。