[發明專利]控制傳送的方法和裝置、以及傳送裝置和加工設備

有效

• 申請號: 201010591792.6
• 申請日: 2010-12-08
• 公開（公告）號: CN102544190A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 楊斌
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/00;H01L21/677;C23C16/54
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 張天舒;陳源

技術領域

本發明屬于光伏領域，涉及被加工工件的控制傳送的方法、控制傳送的裝置、傳送裝置以及太陽能電池片加工設備。

背景技術

隨著石油、煤炭等常規能源的枯竭，人類面臨的能源危機日益嚴峻，太陽能被認為是取之不盡的可再生能源，其儲量豐富，是人類理想地替代能源之一。近年來光伏技術的飛速發展，特別是光伏薄膜太陽能電池片的關鍵技術的突破，加快了太陽能的開發利用，同時也促進了太陽能電池片的相關生產設備的升級改造。

太陽能電池片的相關生產設備有PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)設備、LPCVD(低壓化學氣相沉積)設備以及CVD(化學氣相沉積)設備等，其中，PECVD設備應用比較廣泛。在利用PECVD設備生產太陽能電池片的過程中，電池片是通過太陽能電池片傳送裝置載入工藝腔室內，以進行工藝處理。

圖1為太陽能電池片傳送裝置結構簡圖。請參閱圖1，傳送裝置包括傳輸系統、升降臺14以及機械手15，傳輸系統包括料盒輸入傳送帶11、料盒輸出傳送帶12、電池片傳送帶13以及料盒載具19。為了避免料盒以及料盒內的電池片受到損傷，料盒被固定在料盒載具19上(為了便于描述，下文將料盒和料盒載具統稱為料盒組件)，然后將料盒組件放置在料盒輸入傳送帶11上進行傳輸；料盒輸入傳送帶11用于將裝載有電池片的料盒組件16a、16b、16c從裝載新料盒的起始位置(圖中未示出)傳輸至升降臺14；料盒輸出傳送帶12用于將空料盒組件16d、16e由升降臺14傳輸至卸載位置；電池片傳送帶13用于將電池片傳輸至工藝腔室。升降臺14位于料盒輸入傳送帶11和電池片傳送帶13之間，其包括升降臺傳送帶17和絲杠18，絲杠18可以帶動升降臺傳送帶17在其軸向移動。機械手15用于從放置在升降臺傳送帶17上的料盒組件中取出電池片并將電池片放置在電池片傳送帶13上。

上述傳送裝置的具體工作過程為：首先由操作員將裝載有電池片的料盒組件放置在料盒輸入傳送帶11上；然后由料盒輸入傳送帶11將料盒組件傳輸至靠近升降臺14的位置；與此同時，升降臺14升起，并使升降臺傳送帶17的上表面與料盒輸入傳送帶11的上表面處于同一水平面，料盒輸入傳送帶11與升降臺傳送帶17同時傳動，料盒組件完全放置在升降臺傳送帶17上；機械手15從料盒組件中取出電池片并將其放置在電池片傳送帶13上，再由電池片傳送帶13放入工藝腔室內；當料盒組件內的電池片被取盡后，升降臺14下降，使升降臺傳送帶17的上表面與料盒輸出傳送帶12的上表面處于同一水平面，空料盒組件16d、16e由料盒輸出傳送帶12輸出。操作員將空料盒組件16d、16e取出，并將新料盒組件放置在料盒輸入傳送帶11上，然后進行下一輪的操作。

在實際操作過程中，如果兩個料盒組件相距較近，則上述傳送裝置可能出現兩個料盒組件同時涌入升降臺傳送帶17的情況，這將導致工藝過程的中斷。為此，技術人員對上述傳送裝置進行了改進。圖2為改進后的太陽能電池片傳送裝置的結構簡圖，圖3為改進后的太陽能電池片傳送裝置的料盒輸入傳送帶和升降臺部分的俯視圖。請一并參閱圖2和圖3，改進后的傳送裝置增設了兩個阻擋氣缸及與其配合使用的傳感器，阻擋氣缸和傳感器設置在料盒輸入傳送帶11的下方。阻擋氣缸升起時，其頂端高出料盒輸入傳送帶11的上表面；阻擋氣缸降下時，其頂端低于料盒輸入傳送帶11的上表面。而且，第一阻擋氣缸20a設置在靠近升降臺14的位置，其與第一傳感器21a配合使用，用于阻擋第一料盒組件16a繼續向前傳輸；第二阻擋氣缸20b設置在遠離升降臺14的位置，其與第二傳感器21b配合使用，用于阻擋第二料盒組件16b和第三料盒組件16c繼續向前傳輸。如圖4所示，為了便于傳感器辨別料盒組件的數量和位置，在料盒載具19的一端還設有豁口19′，傳感器借助料盒載具19上的豁口19′既可辨別料盒的數量及位置。