[發明專利]一種石英舟托無效
| 申請號： | 201010591470.1 | 申請日： | 2010-12-16 |
| 公開（公告）號： | CN102543805A | 公開（公告）日： | 2012-07-04 |
| 發明（設計）人： | 伍林;潘建英;左亞兵 | 申請（專利權）人： | 宜興市環洲微電子有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/677 | 分類號： | H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 214204 江蘇省無*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 石英 | ||
【權利要求書】：
1.一種石英舟托，包括托面(1)、托底(4)、石英柱(2)，其特征在于：在所述托底(4)與托面(1)中間設置隔熱面(3)。
2.根據權利要求1所述的石英舟托，其特征在于：所述托面(1)與隔熱面(3)為上凹弧面，所述托底(4)為下凹弧面，它們之間通過石英柱(2)固定連接。
3.根據權利要求1所述的石英舟托，其特征在于：所述隔熱面(3)至少為一個。
4.根據權利要求1所述的石英舟托，其特征在于：所述托面(1)一端設置有一開口遮擋面(5)。
5.根據權利要求1所述的石英舟托，其特征在于：所述托底(4)、托面(1)、隔熱面(3)以及石英柱(2)材質為均質石英。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
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