[發明專利]制造并密封真空玻璃中排氣口的方法及系統

無效

• 申請號: 201010585609.1
• 申請日: 2010-12-10
• 公開（公告）號: CN102557410A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 龔輝;丁雪梅
• 申請（專利權）人: 上海鐳立激光科技有限公司
• 主分類號: C03B23/24
• 分類號: C03B23/24;C03B23/20;C03C27/10
• 代理公司: 上海世貿專利代理有限責任公司 31128
• 代理人: 嚴新德

1.一種制造并密封真空玻璃中排氣口的方法，其特征在于：所述的方法包括一個在真空玻璃中制作排氣口的過程、一個制作玻璃密封塞的過程和一個利用所述的玻璃密封塞密封所述的排氣口的過程，在所述的在真空玻璃中制作排氣口的過程中，利用激光直接在平板玻璃中逐層三維雕刻形成通孔，在所述的制作玻璃密封塞的過程中，利用激光在玻璃塊上三維雕刻形成塞體，所述的塞體的形狀與所述的通孔的形狀匹配，在所述的利用玻璃密封塞密封排氣口的過程中，將塞體放入通孔內，然后利用激光對塞體與通孔進行焊接密封，在制作玻璃密封塞的過程中，在塞體表面敷設密封劑，或者在利用玻璃密封塞密封排氣口的過程中，在塞體與通孔之間敷設密封劑。

2.如權利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排氣口的方法，其特征在于：在所述的在真空玻璃中制作排氣口的過程中，激光的波長范圍在200nm到2000nm之間，激光的脈沖寬度在0.1ns和100ns之間。

3.如權利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排氣口的方法，其特征在于：構成玻璃密封塞的玻璃的物理性能與構成真空玻璃的玻璃的物理性能相同或者接近。

4.如權利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排氣口的方法，其特征在于：所述的排氣口的軸向截面形狀是錐型、或者T型、或者楔型，所述的玻璃密封塞的軸向截面形狀相應地為錐型、或者T型、或者楔型。

5.如權利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排氣口的方法，其特征在于：所述的密封劑是低熔點金屬合金、或者低熔點玻璃微粉。

6.如權利要求5所述的制造并密封真空玻璃中排氣口的方法，其特征在于：所述的密封劑是錫鋅合金、或者氧化硼-氧化鈦-氧化鋅玻璃微粉。

7.如權利要求5所述的制造并密封真空玻璃中排氣口的方法，其特征在于：在所述的制作玻璃密封塞的過程完成之后，將所述的低熔點金屬合金、或者低熔點玻璃微粉利用鍍膜或噴涂方法直接成膜于玻璃密封塞表面。

8.如權利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排氣口的方法，其特征在于：在所述的利用玻璃密封塞密封排氣口的過程中，將激光從真空玻璃的背面透過玻璃在真空狀態下焊接密封排氣口。

9.如權利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排氣口的方法，其特征在于：在所述的利用玻璃密封塞密封排氣口的過程中，用于焊接的激光的波長范圍是300nm到2500nm。

10.如權利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排氣口的方法，其特征在于：在所述的利用玻璃密封塞密封排氣口的過程中，以真空玻璃排氣口為中心在真空玻璃上設置一個真空吸盤，在所述的真空吸盤的頂部設置一個電磁線圈，將玻璃密封塞膠合安裝在一個磁棒的下端，將磁棒和玻璃密封塞設置在真空吸盤的內腔中，將玻璃密封塞對準排氣口，利用真空吸盤對排氣口產生真空，利用電磁線圈通電驅動磁棒向下運動，使玻璃密封塞準確塞入排氣口中。

11.如權利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排氣口的方法，其特征在于：在所述的利用玻璃密封塞密封排氣口的過程中，利用一個振鏡系統控制焊接激光束沿密封路徑高速運動，均勻加熱密封劑，減少熱應力。

12.一種實現如權利要求1所述的制造并密封真空玻璃中排氣口的方法的系統，包括激光雕刻裝置、激光焊接裝置、真空吸盤和玻璃密封塞安裝裝置，其特征在于：所述的激光雕刻裝置由激光器、激光電源控制器和第一振鏡系統以及計算機構成，所述的激光焊接裝置由一個激光系統和第二振鏡系統構成，所述的真空吸盤內側設置有空腔，所述的玻璃密封塞安裝裝置由一個支架和一個磁棒構成，所述的磁棒通過滑動副與所述的支架連接，玻璃密封塞安裝裝置設置在真空吸盤內側的空腔中，真空吸盤通過連接管與一個真空泵相連，真空吸盤的頂部設置有電磁線圈，所述的激光焊接裝置設置在真空吸盤和玻璃密封塞安裝裝置的下方。

13.如權利要求12所述的制造并密封真空玻璃中排氣口的系統，其特征在于：所述的真空吸盤由不銹鋼材料制成，真空吸盤的底部周邊設置有真空橡皮密封環。