[發明專利]射頻匹配方法及裝置、等離子體設備

有效

• 申請號: 201010585583.0
• 申請日: 2010-12-10
• 公開（公告）號: CN102573261A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 成曉陽;武曄
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 張大威

1.一種用于等離子體腔室的射頻匹配方法，其特征在于，包括如下步驟：

傳感器模塊獲取射頻電源的電壓幅度檢測值|V|′、電流幅度檢測值|I|′和相位差檢測值α′；根據所述電壓幅度檢測值|V|′、電流幅度檢測值|I|′和相位差檢測值α′獲取傳感器第一輸出值，并根據所述電壓幅度檢測值|V|′獲取傳感器第二輸出值，以及根據所述電流幅度檢測值|I|′獲取傳感器第三輸出值，并將所述傳感器第一輸出值、傳感器第二輸出值和傳感器第三輸出值傳送至控制模塊；和

所述控制模塊根據所述傳感器第一輸出值、傳感器第二輸出值和傳感器第三輸出值，獲取射頻匹配裝置的輸入阻抗，并根據所述輸入阻抗，通過控制執行模塊調整匹配網絡的阻抗以匹配射頻電源的輸出阻抗。

2.如權利要求1所述的射頻匹配方法，其特征在于，所述傳感器模塊根據所述電壓幅度檢測值|V|′、電流幅度檢測值|I|′和相位差檢測值α′通過以下公式獲取所述傳感器第一輸出值、傳感器第二輸出值和傳感器第三輸出值，

A3×1=M3×3·|V|′|I|′α′+N3×1,]]>

其中，a₀為傳感器第一輸出值、a₁為傳感器第二輸出值、a₂為傳感器第三輸出值；M_3×3為預設的第一系數矩陣，為常數矩陣。

3.如權利要求2所述的射頻匹配方法，其特征在于，所述第一系數矩陣M_3×3為：

M3×3=m11m12m13m21000m320,]]>

其中，m₁₁、m₁₂、m₁₃、m₂₁和m₃₂分別為不為0的常數，所述第一系數矩陣M_3×3對應所述傳感器模塊的內部電路連接。