[發明專利]一種多晶硅太陽能電池的表面催化制絨方法

無效

• 申請號: 201010585532.8
• 申請日: 2010-12-10
• 公開（公告）號: CN102130205A
• 公開（公告）日: 2011-07-20
• 發明（設計）人: 褚君浩;張傳軍;竇亞楠;李釗明
• 申請（專利權）人: 上海太陽能電池研究與發展中心
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;C23F1/24
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 郭英

1.一種多晶硅太陽能電池的表面催化制絨方法，其特征在于步驟如下：

§A采用堿性溶液蝕刻除去多晶硅片表面的機械損傷層；

§B采用表面噴涂方法把具有催化作用的金屬納米顆粒噴涂在多晶硅片的一表面；

§C采用酸性溶液蝕刻多晶硅片表面，使其表面形成蜂窩狀形貌的絨面結構，蝕刻時間為5-10分鐘；

§D堿性溶液蝕刻去除含金屬粒子的污染層，蝕刻時間為10-20分鐘。

2.根據權利要求1的一種多晶硅太陽能電池的表面催化制絨方法，其特征在于：所述的步驟§A中的堿性溶液為NaOH溶液，其濃度為10％-20％。

3.根據權利要求1的一種多晶硅太陽能電池的表面催化制絨方法，其特征在于：所述的步驟§B中的金屬納米顆粒為99.9％-99.99％的高純Ag、Pt或Pd金屬，顆粒的大小為10-40nm。

4.根據權利要求1的一種多晶硅太陽能電池的表面催化制絨方法，其特征在于：所述的步驟§B中的表面噴涂方法的步驟為：

(a)將Ag、Pt或Pd的金屬納米顆粒和去離子水以質量比為1∶5～10的比例混合，攪拌均勻；

(b)用低壓噴槍將上述混合均勻的金屬納米顆粒溶液噴涂在多晶硅片表面，涂層厚度以剛好噴濕硅片表面為準；

(c)室溫或100℃-25℃低溫烘干，使硅片表面均勻附著Ag、Pt或Pd的納米金屬顆粒。

5.根據權利要求1的一種多晶硅太陽能電池的表面催化制絨方法，其特征在于：所述的步驟§C中的酸性溶液為：10％HF溶液或10％HF∶30％H₂O₂的混合溶液，混合溶液配比為10∶1。

6.根據權利要求1的一種多晶硅太陽能電池的表面催化制絨方法，其特征在于：所述的步驟§D中堿性溶液為NaOH溶液，其濃度為1％-5％。