[發明專利]循環系統及方法

有效

• 申請號: 201010584010.6
• 申請日: 2010-12-10
• 公開（公告）號: CN102476355A
• 公開（公告）日: 2012-05-30
• 發明（設計）人: 徐宏信
• 申請（專利權）人: 亞泰半導體設備股份有限公司
• 主分類號: B24B57/00
• 分類號: B24B57/00
• 代理公司: 上海宏威知識產權代理有限公司 31250
• 代理人: 金利琴

1.一種循環系統，其特征在于，包含：

一壓力容器，其容納一粒子溶液，且具有一加壓進氣口、一循環出口及多個循環入口，所述加壓進氣口接收一高壓氣體，以增加所述壓力容器內的壓力；

一第一循環回路，包含一第一節點與一第二節點，所述第一節點連接所述循環出口；

一閥體組，設置于所述第二節點與所述循環入口之間；一幫浦，設置于所述第一節點與所述第二節點間，并通過所述第一節點，將所述壓力容器中部分的粒子溶液由所述循環出口經所述第一節點輸出，再經由所述第一循環回路、所述閥體組及所述循環入口流回壓力容器中；以及

一第二循環回路，連接在所述第一節點及所述第二節點之間，所述壓力容器中部分的粒子溶液由所述循環出口經所述第一節點循環流動于所述第二循環回路中，并由所述第二節點及所述閥體組及所述循環入口流回到所述壓力容器中。

2.根據權利要求1所述的循環系統，其特征在于：所述壓力容器為一筒狀槽，所述筒狀槽的頂端及底端呈一圓弧狀，進而形成一圓弧頂部及一圓弧底部，所述加壓進氣口設置于所述圓弧頂部，所述多個循環入口設置于所述圓弧底部。

3.根據權利要求2所述的循環系統，其特征在于，包含：

至少一第一磁浮幫浦，各所述第一磁浮幫浦設在所述第二循環回路上；

一第二磁浮幫浦，所述第二磁浮幫浦設于所述第二循環回路與所述第二節點間的壓力末端位置；

至少一局部循環回路，所述局部循環回路分別連接各所述第一磁浮幫浦之間，及所述第二磁浮幫浦與最接近所述第二磁浮幫浦的所述第一磁浮幫浦之間；

至少一背壓閥，各所述背壓閥設置于各所述局部循環回路上；及

至少一輸送回路，各所述輸送回路的入口與其出口分別設置于所述局部循環回路與所述背壓閥輸入端與輸出端，并分別以各所述輸送回路分別連接至一工作機具；其中，所述輸送回路的入口提供各所述局部循環回路中的粒子溶液至各所述工作機具，再經由所述輸送回路的出口，依序流回各所述局部循環回路及所述第二循環回路。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的循環系統，其特征在于：包含至少一粒子溶液補充槽，提供儲存備用的粒子溶液，所述粒子溶液補充槽連通所述壓力容器，以提供所述備用的粒子溶液至所述壓力容器，所述粒子溶液補充槽，通入高壓氣體加壓，以保持所述粒子溶液補充槽的壓力。

5.一種循環方法，其特征在于，包含：

提供一壓力容器以儲存一粒子溶液，所述壓力容器具有一加壓進氣口、一循環出口及多個循環入口，所述加壓進氣口接收一高壓氣體，以加壓所述壓力容器內的壓力；提供一第一循環回路，所述第一循環回路包含一第一節點與一第二節點，且所述第一節點連接所述循環出口；使用一閥體組設置于所述第二節點與所述循環入口之間；

設置一幫浦于所述第一節點與所述第二節點間，以通過所述幫浦使所述粒子溶液經所述閥體組及各所述循環入口流回所述壓力容器，進而擾動所述壓力容器的粒子溶液，并提高壓力容器輸出粒子溶液的壓力，令粒子溶液以高壓氣體所加入所述壓力容器的壓力及所述磁浮幫浦提供的輸送壓力循環流動于所述循環回路中；

提供連接在所述第一節點與一所述第二節點的所述第二循環回路，并由設置在一第二循環回路上的至少一第一磁浮幫浦增加所述粒子溶液的輸送壓力，使所述粒子溶液被更高的壓力帶動循環流動于所述第二循環回路中；以及

由設置在所述第二循環回路的壓力末端的一第二磁浮幫浦，將使得所述第二循環回路的粒子溶液經過所述閥體組輸送到所述壓力容器的入口，以完成循環輸送粒子溶液。

6.根據權利要求5所述的循環方法，其特征在于：所述第二循環回路的粒子溶液更進一步包括下列步驟，用以輸送到至少一工作機具：

由設置在各所述第一磁浮幫浦之間，及所述第二磁浮幫浦與最接近所述第二磁浮幫浦的所述第一磁浮幫浦之間的至少一局部循環回路輸送所述第二循環回路的所述粒子溶液；以及

由設置在設置于各所述局部循環回路的一背壓閥，與設置于各所述局部循環回路及各所述背壓閥的輸入端與輸出端之間的輸送回路輸送各所述局部循環回路的粒子溶液至各所述工作機具。

7.根據權利要求5所述的循環方法，其特征在于：其中所述壓力容器為一筒狀槽，所述筒狀槽的頂端及底端呈一圓弧狀，進而形成一圓弧頂部及一圓弧底部，所述加壓進氣口設置于所述圓弧頂部，所述多個循環入口設置于所述圓弧底部。

8.根據權利要求5至7中任一項所述的循環方法，其特征在于：更包含提供至少一粒子溶液補充槽，所述粒子溶液補充槽提供儲存備用的粒子溶液，并連通所述壓力容器，以提供所述備用的粒子溶液至所述壓力容器，所述粒子溶液補充槽，通入高壓氣體加壓，以保持所述粒子溶液補充槽的壓力。