[發(fā)明專利]三氯氫硅生產(chǎn)中尾氣的處理工藝及其裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010583695.2
• 申請日: 2010-12-08
• 公開（公告）號: CN102101000A
• 公開（公告）日: 2011-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 石明勝;閔運豪;羅濤;楊霖;徐智
• 申請（專利權(quán)）人: 湖北江鉆天祥化工有限公司
• 主分類號: B01D53/18
• 分類號: B01D53/18;B01D53/14;B01D5/00;C01B7/07;C01B33/107
• 代理公司: 武漢開元知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 42104
• 代理人: 朱盛華

1.三氯氫硅生產(chǎn)中尾氣的處理工藝，其特征在于具體步驟如下：

1)三氯氫硅合成工段和三氯氫硅分餾工段的尾氣經(jīng)隔膜壓縮機加壓壓縮處理，加壓壓力：0.5～0.8Mpa，

2)經(jīng)機后水冷冷凝器冷凝，機后深冷冷凝器深冷凝，冷凝溫度：-30℃～-25℃，

3)流經(jīng)循環(huán)吸收塔，循環(huán)吸收塔的吸收劑—三氯氫硅生產(chǎn)中的副產(chǎn)品四氯化硅吸收三氯硅烷被，回收三氯硅烷，冷凝溫度：-25℃～-20℃，壓力：0.5～0.55Mpa，

4)循環(huán)吸收塔吸收后的尾氣經(jīng)過兩級降膜吸收塔回收尾氣中的氯化氫，制成濃度為30％的鹽酸，經(jīng)降膜吸收塔吸收后的尾氣直接放空，降膜吸收塔內(nèi)氣體溫度：-15℃～0℃，壓力：0.1～0.25Mpa。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三氯氫硅生產(chǎn)中尾氣的處理工藝，其特征在于環(huán)矩鞍填料層的吸收劑采用三氯氫硅生產(chǎn)中的副產(chǎn)品四氯化硅。

3.采用權(quán)利要求1所述的三氯氫硅生產(chǎn)中尾氣處理工藝的裝置，其特征在于由用管道串接的隔膜壓縮機、機后水冷冷凝器、機后深冷冷凝器、循環(huán)吸收塔和降膜吸收塔組成，隔膜壓縮機有尾氣進料口，降膜吸收塔有出料口和放空口，

機后深冷冷凝器的塔體上、下部有上端封頭、下端封頭，上端封頭上有氣體進口、氣體出口，塔體中設(shè)冷凝器，冷凝器上、下部有冷凝水出口、冷凝水進口，下端封頭下有液體出口，上端封頭和塔體中間設(shè)有隔板，冷凝器中的降溫管按正三角形分布排列，

循環(huán)吸收塔的吸收塔下連循環(huán)吸收罐，循環(huán)吸收罐一側(cè)有循環(huán)吸收液出口、循環(huán)吸收液進口，一側(cè)連屏蔽泵，屏蔽泵通過管道與冷凝器相連，冷凝器與吸收塔的冷凝器進吸收塔管口相連，連接管道端接有噴頭，吸收塔下部有進氣口，內(nèi)有環(huán)矩鞍填料層，環(huán)矩鞍填料層之間有再分布器，吸收塔頂部的氣體上升管、上側(cè)部的液體回流管與除霧器相連，除霧器內(nèi)有硅油浸漬玻璃棉，頂部有氣體出口，再分布器的分布板上有多個再分布孔。