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[發明專利]一種FeCoTaZr系合金濺射靶材及其制造方法無效

專利信息
申請號: 201010581925.1 申請日: 2010-12-06
公開(公告)號: CN102485948A 公開(公告)日: 2012-06-06
發明(設計)人: 董亭義;王欣平;江軒;范亮 申請(專利權)人: 北京有色金屬研究總院;有研億金新材料股份有限公司
主分類號: C23C14/34 分類號: C23C14/34;C23C14/14;B22D18/06
代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100 代理人: 耿小強
地址: 100088 *** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 fecotazr 合金 濺射 及其 制造 方法
【權利要求書】:

1.一種FeCoTaZr系合金濺射靶材,其特征在于:所述FeCoTaZr系合金濺射靶材的原子比組成式用Fex-Coy-Taz-Zr100-(x+y+z)表示,其中,17≤x≤80,17≤y≤80,2≤z≤15,且x+y+z<100;所述FeCoTaZr系合金濺射靶材的顯微組織由彌散的富Ta、Zr元素的合金相和FeCo合金相組成。

2.根據權利要求1中所述的FeCoTaZr系合金濺射靶材,其特征在于:所述富Ta、Zr元素的合金相和FeCo合金相的平均直徑為100μm以下。

3.權利要求1或2所述的FeCoTaZr系合金濺射靶材的制造方法,其步驟如下:

(1)、對Fe、Co、Ta、Zr四種單質元素按照配比進行真空感應熔煉,得到充分合金化的合金熔液;

(2)真空澆鑄:將步驟(1)所得充分合金化的合金熔液自鑄造模具開口上方直接澆鑄,所述合金液體在冷卻過程中的冷卻速率為102~104℃/s。

4.根據權利要求3中所述的FeCoTaZr系合金濺射靶材的制造方法,其特征在于:在澆鑄時,所述充分合金化的合金熔液保持在熔點以上的溫度。

5.根據權利要求4中所述的FeCoTaZr系合金濺射靶材的制造方法,其特征在于:所述充分合金化的合金熔液的溫度為比合金熔點高50~80℃。

6.根據權利要求5中所述的FeCoTaZr系合金濺射靶材的制造方法,其特征在于:所述充分合金化的合金熔液的溫度為1520℃~1560℃。

7.根據權利要求3中所述的FeCoTaZr系合金濺射靶材的制造方法,其特征在于:所述鑄造模具的四周由保溫耐熱材料制成,底部為金屬銅,所述金屬銅下面為冷卻系統。

8.根據權利要求7中所述的FeCoTaZr系合金濺射靶材的制造方法,其特征在于:所述冷卻系統包括冷卻水和金屬制造的管道。

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