[發明專利]一種FeCoTaZr系合金濺射靶材及其制造方法

無效

• 申請號: 201010581925.1
• 申請日: 2010-12-06
• 公開（公告）號: CN102485948A
• 公開（公告）日: 2012-06-06
• 發明（設計）人: 董亭義;王欣平;江軒;范亮
• 申請（專利權）人: 北京有色金屬研究總院;有研億金新材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/14;B22D18/06
• 代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100
• 代理人: 耿小強

1.一種FeCoTaZr系合金濺射靶材，其特征在于：所述FeCoTaZr系合金濺射靶材的原子比組成式用Fe_x-Co_y-Ta_z-Zr_100-(x+y+z)表示，其中，17≤x≤80，17≤y≤80，2≤z≤15，且x+y+z＜100；所述FeCoTaZr系合金濺射靶材的顯微組織由彌散的富Ta、Zr元素的合金相和FeCo合金相組成。

2.根據權利要求1中所述的FeCoTaZr系合金濺射靶材，其特征在于：所述富Ta、Zr元素的合金相和FeCo合金相的平均直徑為100μm以下。

3.權利要求1或2所述的FeCoTaZr系合金濺射靶材的制造方法，其步驟如下：

(1)、對Fe、Co、Ta、Zr四種單質元素按照配比進行真空感應熔煉，得到充分合金化的合金熔液；

(2)真空澆鑄：將步驟(1)所得充分合金化的合金熔液自鑄造模具開口上方直接澆鑄，所述合金液體在冷卻過程中的冷卻速率為10²～10⁴℃/s。

4.根據權利要求3中所述的FeCoTaZr系合金濺射靶材的制造方法，其特征在于：在澆鑄時，所述充分合金化的合金熔液保持在熔點以上的溫度。

5.根據權利要求4中所述的FeCoTaZr系合金濺射靶材的制造方法，其特征在于：所述充分合金化的合金熔液的溫度為比合金熔點高50～80℃。

6.根據權利要求5中所述的FeCoTaZr系合金濺射靶材的制造方法，其特征在于：所述充分合金化的合金熔液的溫度為1520℃～1560℃。

7.根據權利要求3中所述的FeCoTaZr系合金濺射靶材的制造方法，其特征在于：所述鑄造模具的四周由保溫耐熱材料制成，底部為金屬銅，所述金屬銅下面為冷卻系統。

8.根據權利要求7中所述的FeCoTaZr系合金濺射靶材的制造方法，其特征在于：所述冷卻系統包括冷卻水和金屬制造的管道。