[發(fā)明專(zhuān)利]一種含有停止層的集成電路介電層結(jié)構(gòu)無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201010579276.1 | 申請(qǐng)日： | 2010-12-08 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN102543942A | 公開(kāi)（公告）日： | 2012-07-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 任丙振;張進(jìn)剛 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 和艦科技（蘇州）有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | H01L23/522 | 分類(lèi)號(hào)： | H01L23/522;H01L23/532 |
| 代理公司： | 北京連和連知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光輝 |
| 地址： | 215025 江蘇省*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 含有 停止 集成電路 介電層 結(jié)構(gòu) | ||
1.一種含有停止層的集成電路介電層結(jié)構(gòu)，包括第一介電層，所述第一介電層上設(shè)置有金屬層，所述金屬層上設(shè)置有第二介電層；其中，所述第一介電層上設(shè)置有第一金屬導(dǎo)孔，所述第二介電層上設(shè)置有第二金屬導(dǎo)孔，所述第一金屬導(dǎo)孔和第二金屬導(dǎo)孔形成堆疊金屬導(dǎo)孔，其特征在于，
所述金屬層與第二介電層之間設(shè)置有停止層，該停止層的材質(zhì)不同于所述金屬層和第二介電層的材質(zhì)；
或者，所述第二介電層內(nèi)部設(shè)置有停止層，該停止層的材質(zhì)不同于所述第二介電層中的其它材質(zhì)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含有停止層的集成電路介電層結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一介電層為層間介電層，所述第二介電層為金屬層間絕緣層。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含有停止層的集成電路介電層結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一介電層和第二介電層均為金屬層間絕緣層。
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