[發(fā)明專利]一種研磨墊修整器及研磨墊修整方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010573612.1 | 申請日： | 2010-12-03 |
| 公開（公告）號： | CN102485426A | 公開（公告）日： | 2012-06-06 |
| 發(fā)明（設計）人： | 唐強;李佩 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | B24B53/12 | 分類號： | B24B53/12 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 20120*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 研磨 修整 方法 | ||
1.一種研磨墊修整器，其特征在于，包括修整頭和通氣管路，所述修整頭位于研磨墊上方，所述修整頭與通氣管路連通，所述修整頭上設置有通氣罩，所述通氣罩上設置有多個出氣孔，以向研磨墊噴射高壓氣體。
2.如權利要求1所述的研磨墊修整器，其特征在于，所述修整頭與所述研磨墊的距離為1.2～3cm。
3.如權利要求1所述的研磨墊修整器，其特征在于，所述修整頭噴射出的高壓氣體為壓縮空氣。
4.如權利要求1所述的研磨墊修整器，其特征在于，所述修整頭噴射出的高壓氣體在所述研磨墊上的壓力為4.85～5.15PSI。
5.如權利要求1所述的研磨墊修整器，其特征在于，所述通氣罩的直徑為5～15cm。
6.如權利要求1所述的研磨墊修整器，其特征在于，所述通氣罩的材質(zhì)為硬質(zhì)金屬。
7.如權利要求1所述的研磨墊修整器，其特征在于，所述通氣管路上設置有調(diào)壓閥。
8.如權利要求1所述的研磨墊修整器，其特征在于，還包括修整臂，所述修整頭固定在修整臂的一端，所述通氣管路固定在所述修整臂上，所述修整臂能夠帶動所述修整頭在所述研磨墊上方水平擺動。
9.一種修整研磨墊的方法，其特征是，利用高壓氣體噴射研磨墊表面，以對研磨墊進行修整。
10.如權利要求9所述的修整研磨墊的方法，其特征在于，所述高壓氣體為壓縮空氣。
11.如權利要求9所述的修整研磨墊的方法，其特征在于，所述高壓氣體在所述研磨墊上的壓力為4.85～5.15PSI。
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