[發(fā)明專利]有機(jī)模板摻雜制備孔隙率可調(diào)控納米多孔減反增透薄膜的方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010571940.8
• 申請(qǐng)日: 2010-12-03
• 公開（公告）號(hào): CN102153290A
• 公開（公告）日: 2011-08-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃富強(qiáng);李德增
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所
• 主分類號(hào): C03C17/23
• 分類號(hào): C03C17/23
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.有機(jī)模板摻雜制備孔隙率可調(diào)控納米多孔減反增透薄膜的方法，其特征在于采用溶膠-凝膠技術(shù)，用有機(jī)模板進(jìn)行復(fù)合摻雜，通過(guò)不同條件熱處理選擇性地去除有機(jī)模板，形成納米多孔減反增透薄膜結(jié)構(gòu)，并可進(jìn)行孔隙率調(diào)節(jié)；具體步驟是：

(1)有機(jī)模板的摻雜：

將分子量為1000-50,000的有機(jī)模板加入前驅(qū)溶膠中，在室溫條件下連續(xù)攪拌，得到摻雜的復(fù)合前驅(qū)溶膠；

(2)有機(jī)模板摻雜的薄膜制備：

將清洗后、干凈的基片通過(guò)提拉鍍膜技術(shù)豎直、勻速或旋涂鍍膜技術(shù)從步驟1制備的摻雜的復(fù)合前驅(qū)溶膠中根據(jù)不同需要制備不同層數(shù)的薄膜；

(3)有機(jī)模板的去除：

將制備的摻雜薄膜置于烘箱中，在100-800℃的條件固化2小時(shí)以上，自然冷卻后即可得到孔隙率可調(diào)節(jié)的納米多孔減反增透薄膜。

2.按權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于選用的基片為普通玻璃、石英玻璃或透明導(dǎo)電材料。

3.按權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于前驅(qū)溶膠為TiO₂，SiO₂，ZrO₂或ZnO。

4.按權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于提拉鍍膜的速度控制在10-200mm/min范圍內(nèi)，旋涂鍍膜的速度控制在1000-20000r/min范圍內(nèi)。

5.按權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于分子量控制在1000-50000范圍內(nèi)的有機(jī)模板為聚乙烯吡咯烷酮或聚乙二醇。

6.按權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于薄膜厚度控制在20-2500nm范圍內(nèi)的薄膜折射率控制在1.10-2.50范圍內(nèi)，消光系數(shù)控制在0.0-0.1范圍內(nèi)。

7.按權(quán)利要求1或6所述的方法，其特征在于制備的薄膜層厚度h與提拉速度V成正比，介于hαV^1/2和hαV^3/2之間。

8.按權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所制備的SiO₂多孔薄膜在太陽(yáng)光550nm處透過(guò)率可達(dá)99.4％，反射率低于0.9％，現(xiàn)實(shí)良好的寬帶增透性。