[發明專利]探針卡結構

無效

• 申請號: 201010571153.3
• 申請日: 2010-11-30
• 公開（公告）號: CN102478593A
• 公開（公告）日: 2012-05-30
• 發明（設計）人: 古仁丁;黃鄭隆;劉育宗
• 申請（專利權）人: 勵威電子股份有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R1/073;G01R1/04
• 代理公司: 北京市浩天知識產權代理事務所 11276
• 代理人: 劉云貴

技術領域

本發明為一探針卡的技術領域，特別指一種運用于探針數目多且間距小的探針卡中，利用真空吸力的原理將探針卡各構件緊密地固定在一起。

背景技術

隨著科技技術的成熟與提升，芯片功能逐漸增加，設計逐漸復雜，芯片輸入/輸出針腳數也持續增加。為了降低生產成本，晶圓尺寸也不斷提升(如12時晶圓)，因此大面積偵測用的探針卡需求逐漸增多。此類大面積的探針卡，由于探針接觸點的間距小，結構中通常會利用具有線路的多層式基板設置于多個探針與電路板間，作為線路的空間轉換裝置。基板上下兩平面具有大間距墊盤(又稱接觸墊，contact?pad)與小間距墊盤，內部分布著連接上下各墊盤的線路，其中大間距離墊盤的平面是與電路板相接，墊盤間距較小的平面則是供多個微小探針各別與墊盤相電性連接。利用此多個微小探針與被測物接觸即可達成電子測試的目的。多層式基板可為陶瓷基板、玻璃基板或銅箔(FR-4)基板等，例如在工業上容易獲得的多層陶瓷基板(multi-layer?ceramics?substrate，MLC)或低溫共燒陶瓷基板(low?temperature?co-fired?ceramics?substrate，LTCC)。

大面積的探針卡不僅本身所具備的微小探針數目眾多(可達數千根)，各構件如電路板、基板的線路復雜程更高，成本也更為昂貴，因此就使用者(如測試廠商)的立場，是希望探針卡的使用壽命能夠延長，在各構件拆解維修時，如電路板或基板的損傷情形能降低，以減少重新更換零件的成本。

就現有探針卡的結構作分析，電路板與基板的固定方式是利用焊錫粘固于電路板與基板上的線路墊盤處。當電路板或基板欲維修時，較為困難所需時間也較長，如欲分開兩構件，則須要經過高溫回焊爐，此過程中容易造成電路板及基板同時損壞，增加維修保養的成本。此外若拆解后的電路板及基板未損壞，將兩者重新利用進行焊錫連接時良率也會降低，造成使用者相當的困擾。雖然有些廠商開始采用鎖固方式各將電路板與基板相固定，兩者間再以可導電的彈性探針作為電性連接。但夾持于基板周圍的鎖固元件，容易使基板產生輕微的彎曲，若再加上位置中央區域彈性探針的反作用力，基板很容易變形或損壞，面積愈大的基板此問題更為嚴重；此外，產生彎曲的基板平坦度不佳，也會影響彈性探針的接觸狀態，壓力與反作用力不均，會造成彈性探針損害程度的不同；因此，本發明人針對上述的問題，借著多年的經驗，設計了此一探針卡結構。

發明內容

本發明主要目的是提供一種采用真空吸力的原理以確保探針卡各構件能緊緊接觸固定的設計，主要是于探針卡的基板周圍與電路板相鄰處以一密封膠墊來密閉，接著將電路板與基板間的空間內壓力轉換為呈真空或負壓狀態，使得電路板、電性連接裝置與基板能靠緊在一起而被固定，除此以外空間各處壓力平均，確保各構件能緊密確實的接觸，能適用于大面積的探針卡。

本發明另一目的是提供一種便于維修的探針卡結構，由于主要構件間是利用真空吸力原理使各構件緊靠而固定，并未利用焊錫作連接，當欲分離各構件時僅須調整空間內部的壓力，即能讓如電路板或基板等構件分離，方便進行維修保養作業，能延續探針卡的使用壽命，減少更換零件的費用。

為達上述目的，本發明主要包括有一電路板、一電性連接裝置、一基板、至少一探針單元以及一密封膠墊。探針單元安裝于具有線路分布其上的基板處，探針單元具有多個探針能與待測件相接觸，電性連接裝置設置于電路板與基板間，整體結構能使電路板訊號傳遞至探針單元處，本發明改良的地方是利用密封膠墊設置于電路板與基板間，將基板周圍與電路板相鄰處封閉，并使電路板與基板間的空間壓力呈真空或負壓狀態，讓電路板、電性連接裝置與基板相互靠緊而固定在一起。

以下配合圖式及元件符號對本發明的實施方式做更詳細的說明，以使本領域技術人員在閱讀本說明書后能加以實施。

附圖說明

圖1為本發明的第一種實施例的剖面圖。

圖2為本發明的密封膠墊的立體示意圖。

圖3為本發明的第二種實施例的剖面圖。

圖4A為本發明密封膠墊的另一種型式的平面圖。

圖4B為本發明密封膠墊的另一種型式的平面圖。

圖4C為本發明密封膠墊的另一種型式的平面圖。

其中，附圖標記說明如下：

4?????探針卡????????32????彈性接觸件

5?????電路板????????4?????基板

22????真空管????????5?????探針單元

6?????電性連接裝置??51????探針