[發(fā)明專(zhuān)利]可微調(diào)式升降裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010568435.8
• 申請(qǐng)日: 2010-12-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102120553A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-07-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊明生;葉宗鋒;劉惠森;范繼良;王曼媛;王勇
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B66F7/00
• 分類(lèi)號(hào): B66F7/00;B66F7/16;B66F7/28;F16J15/52;H01L51/56
• 代理公司: 廣州三環(huán)專(zhuān)利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

1.一種可微調(diào)式升降裝置，適應(yīng)于安裝在具有真空腔的腔體上，其特征在于，所述可微調(diào)式升降裝置包括支撐板、驅(qū)動(dòng)器、調(diào)節(jié)件及若干升降桿，所述支撐板位于所述腔體外且與所述腔體的底板平行，所述升降桿的下端均固定在所述支撐板上，所述升降桿的上端均呈密封的伸入所述真空腔內(nèi)并形成承載工件的支撐面，所述調(diào)節(jié)件的上端與所述支撐板呈旋轉(zhuǎn)的卡合連接，所述調(diào)節(jié)件的下端與所述驅(qū)動(dòng)器的輸出軸呈套接的螺紋連接，所述驅(qū)動(dòng)器通過(guò)所述調(diào)節(jié)件驅(qū)動(dòng)所述支撐板做直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

2.如權(quán)利要求1所述的可微調(diào)式升降裝置，其特征在于，還包括設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)器的輸出軸與所述調(diào)節(jié)件之間的鎖定件。

3.如權(quán)利要求2所述的可微調(diào)式升降裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)件的下端開(kāi)設(shè)有調(diào)節(jié)件內(nèi)螺紋，所述驅(qū)動(dòng)器的輸出軸設(shè)置有與所述調(diào)節(jié)件內(nèi)螺紋相配合的輸出軸外螺紋，所述鎖定件呈嚙合的套設(shè)于所述驅(qū)動(dòng)器的輸出軸上并與所述調(diào)節(jié)件抵觸。

4.如權(quán)利要求2所述的可微調(diào)式升降裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)件的下端開(kāi)設(shè)有調(diào)節(jié)件外螺紋，所述驅(qū)動(dòng)器的輸出軸設(shè)置有與所述調(diào)節(jié)件外螺紋相配合的輸出軸內(nèi)螺紋，所述鎖定件呈嚙合的套設(shè)于所述調(diào)節(jié)件上并與所述驅(qū)動(dòng)器的輸出軸抵觸。

5.如權(quán)利要求1所述的可微調(diào)式升降裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)件的上端設(shè)置有弧形的凸頭，所述支撐板對(duì)應(yīng)的設(shè)置有供與所述凸頭容置并卡合的卡合槽。

6.如權(quán)利要求1所述的可微調(diào)式升降裝置，其特征在于，還波紋管，所述波紋管套接在位于所述腔體外的升降桿外，所述波紋管的上端與所述腔體密封連接，所述波紋管的下端與所述支撐板密封連接。

7.如權(quán)利要求1所述的可微調(diào)式升降裝置，其特征在于，還包括若干個(gè)導(dǎo)向組件，所述導(dǎo)向組件包括相互配合滑動(dòng)的導(dǎo)向套及導(dǎo)向桿，所述導(dǎo)向套安裝在所述支撐板上，所述導(dǎo)向桿的上端固定在所述腔體的底板上，所述導(dǎo)向桿的下端穿過(guò)所述導(dǎo)向套并與所述驅(qū)動(dòng)器固定。

8.如權(quán)利要求7所述的可微調(diào)式升降裝置，其特征在于，所述導(dǎo)向組件以所述驅(qū)動(dòng)器的輸出軸為中心呈對(duì)稱(chēng)的設(shè)置。

9.如權(quán)利要求1所述的可微調(diào)式升降裝置，其特征在于，所述升降桿的上端還設(shè)置有緩沖墊或者鍍膜層。

10.如權(quán)利要求1所述的可微調(diào)式升降裝置，其特征在于，所述升降桿的上端均位于同一平面中。