[發明專利]一種非對稱爪型真空泵

有效

• 申請號: 201010565610.8
• 申請日: 2010-11-30
• 公開（公告）號: CN101985936A
• 公開（公告）日: 2011-03-16
• 發明（設計）人: 巴德純;劉坤;岳向吉;張振厚;王光玉
• 申請（專利權）人: 東北大學;中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司
• 主分類號: F04C25/02
• 分類號: F04C25/02;F04C18/12
• 代理公司: 沈陽東大專利代理有限公司 21109
• 代理人: 崔蘭蒔

技術領域

本發明涉及一種真空泵，具體涉及一種非對稱爪型真空泵。

背景技術

爪型干式真空泵是備受半導體,光學器件等高科技行業青睞的一種容積式干式真空泵。?但這種泵需要在大氣、富含水蒸氣、酒精、汽油或粉塵等特殊應用環境中進行工作，由于真空泵長期在處理大量含顆粒物的氣體時,?不但會受到腐蝕,?而且在壓縮過程中會產生固體顆粒物，附著在爪型轉子上不斷累積。而目前現有的對稱爪式真空泵運行時兩個對稱爪型轉子接觸點始終不變，相當于兩爪在作同步滾動，兩爪型轉子總在相同點嚙合，造成兩爪型轉子接觸點間隙減小，至一定程度時會使接觸點部位局部磨損，造成電機發熱卡死，使泵爪的使用壽命減少，同時造成工作效率極大的降低。

發明內容

針對現有的爪型干式真空泵所存在的問題，本發明提供一種非對稱爪型真空泵，解決爪型干式真空泵使用壽命短，工作效率低的問題。?

本發明的非對稱爪型真空泵，包括電機、主軸和從動軸，主軸上裝配有主動齒輪，與主動齒輪相嚙合的從動齒輪裝配在主軸一側的從動軸上，在主軸和從動軸上裝有相互嚙合的爪型轉子，爪型轉子組之間用隔板隔開，其特征在于相互嚙合的兩個爪型轉子節圓半徑不相等。

所述的兩個爪型轉子的節圓半徑差值小于或等于轉子中心距的20%。

所述的爪型轉子的爪數為二爪、四爪、六爪或八爪。

所述的爪型轉子級數為1級～6級。

所述的爪型轉子級數為2級～6級時，相鄰兩級之間用隔板隔開。

本發明與現有技術相比較顯著的特點和產生的有益效果是：兩個相互嚙合的爪型轉子節圓半徑不同，兩爪型轉子接觸點的線速度不同，這種結構的轉變能及時將轉子表面粘附的雜物刮去，使爪型轉子的磨損大大降低，進而使泵的使用壽命能得到大幅度的提高。

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖；

圖2為本發明的非對稱爪型轉子結構示意圖；

圖中：1電機、2聯軸器、3主軸、4從動齒輪、5從動軸、6從動轉子、7隔板、8主動轉子、9主動齒輪、10右軸承、11齒輪箱、12右軸承座、13聯軸器架、14左軸承座、15軸承端蓋、16泵體、17左軸承。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明做進一步說明。

例1.由圖1所示非對稱爪型真空泵的構成是，電機1通過聯軸器2與主軸3相連接，主動齒輪9和從動齒輪4通過鍵連接分別裝配在主軸3和從動軸5上，在主軸3和從動軸5上裝配有4級二爪的爪型轉子，且相嚙合的兩個爪型轉子的節圓半徑差值為轉子中心距的5%，各爪型轉子通過鍵連接分別固定在對應的軸上，在主軸3和從動軸5兩端的軸肩處均裝配有軸承，右軸承10裝配在右軸承座12上，右軸承座12內部的空腔與右軸承座12側面的排氣口相通，左軸承17裝配在左軸承座14上，左軸承座14的頂部開有一進氣口，進氣口與左軸承座14內部的空腔相通；右軸承座12的右端面通過螺栓與齒輪箱11相連接，在主軸3和從動軸5延伸到齒輪箱11的軸肩部分裝配有主動齒輪9和從動齒輪4，齒輪箱11與聯軸器架13通過螺栓相連接，電機1通過螺栓固定在聯軸器架13上，右軸承座12的左端面通過螺栓與泵體16相連接，泵體16內部的爪型轉子組之間通過隔板7隔開，隔板7上設置有主軸3的軸孔和從動軸5的軸孔，在主軸3的軸孔下方開一氣孔，在從動軸5的軸孔上方開一氣孔，兩個氣孔沿隔板7上軸孔所在的直線上下對稱分布。左軸承座14通過螺栓與泵體16相連接，軸承端蓋15通過螺栓固定在左軸承座14上。

本發明的工作過程是：由電機1提供動力源，帶動主軸3上的主動齒輪9旋轉，進而帶動從動齒輪4旋轉。如此便實現了主動轉子8和從動轉子6的同步旋轉。轉子間無接觸嚙合，連同泵體內壁形成封閉的空間，從而實現周期性的吸氣和排氣。

泵內包含有四級轉子，各級轉子之間用隔板7隔開。轉子與轉子、轉子與泵體內壁之間相互作用排出的氣體通過隔板7上的氣孔排出。在各級轉子轉動作用下，實現氣體的輸運過程。抽氣時由于兩爪型轉子節圓半徑不同，因此轉速也不相同，這樣使附著在爪上的粒子不斷被刮掉，使泵爪的磨損大大降低，泵爪的使用壽命也得到大幅增加，減少了維修，降低了生產成本，提高了工作效率。

例2.其結構，連接和工作過程與實施例1相同，不同點在于主軸3和從動軸5上裝配有6級四爪的爪型轉子，且相嚙合的兩個爪型轉子的節圓半徑差值為轉子中心距的15%。